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4001027270
脈沖激光分子束外延 (Pulsed Laser MBE)
工作原理:
高功率脈沖激光束聚焦在腔體并轟擊用來(lái)沉積的靶材。吸收了高能量的激光,靶材會(huì)被激發(fā),蒸發(fā),濺射和形成等離子體。最后在存底上沉積成薄膜。這個(gè)過(guò)程可在超高真空或存在背景氣體下(常用氧氣)發(fā)生。
特點(diǎn):
應(yīng)用范圍:
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