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    離子束設備制造

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-其他設備類-其他

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

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    所屬系列：半導體加工設備-其他設備類-其他

    湖北江海行集團與武漢大學簽訂了產(chǎn)學研合作協(xié)議，成立了離子加工與表面工程技術中心、離子束納米加工技術國際科技合作基地。團簇離子源和團簇離子束設備的研制，提高了我國離子束設備和儀器產(chǎn)品的競爭力，帶動上百億元的關聯(lián)產(chǎn)業(yè)和市場。相關受益產(chǎn)業(yè)包括：

    （1）離子束設備制造：包括團簇源、離子注入機的研發(fā)和生產(chǎn)，提高設備的國產(chǎn)化水平，促進常規(guī)離子束設備升級換代，提高新型高端離子束設備的設計制造水平。

    （2）半導體器件產(chǎn)業(yè)：大規(guī)模集成電路制造、亞納米表面平化、半導體刻蝕、精密光學元件的離子束修形。

    （3）團簇離子束沉積：主要用于制備超薄類金剛石薄膜（超薄涂層機械零部件、超硬涂層刀具）、亞納米二維材料（石墨烯、石墨烯相氮化碳、硅烯、硫化鉬、硒化鎢等）。


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