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【晶體掃描儀—顯微掃描】

設(shè)備特點(diǎn)：

1. 采用高速相機(jī)配合高亮冷光源及光纖，保障圖像的清晰度；
2. 夾具設(shè)計(jì)采用4x4矩陣掃描方案，提升檢測(cè)效率；
3. 像素分辨率: 2.8um/1.4um/0.7um可選；
4. 采用3PC分析處理方案，保障檢測(cè)效率及數(shù)據(jù)穩(wěn)定性；
5. 可按照芯片尺寸設(shè)定最小分析單元。

系統(tǒng)配置：

用途	1、LED外延片/芯片/PSS圖形缺陷檢測(cè) 2、支持排線及電子印刷等圖形缺陷檢測(cè)
型號(hào)	XTL-2K
載物臺(tái)	全自動(dòng)掃描載物臺(tái) 行程：158mm x 158mm/210mm x 210mm可選支持夾具定制
反饋系統(tǒng)	線性反饋尺，解析率：0.1um/1.0um可選
聚焦	電動(dòng)聚焦系統(tǒng)
探測(cè)系統(tǒng)	特殊深景深顯微組合設(shè)計(jì)；高品質(zhì)彩色成像系統(tǒng)；綜合放大倍率8.0x～100x；超長(zhǎng)工作距離>50mm
照明方式	專(zhuān)用組合環(huán)形光源及同軸光可切換照明
軟件系統(tǒng)	高性能缺陷檢測(cè)算法軟件系統(tǒng)，內(nèi)嵌美軍標(biāo)判據(jù)基準(zhǔn)軟件；提供各類(lèi)數(shù)據(jù)庫(kù)接口，可將測(cè)量結(jié)果上傳至工藝主控終端
檢查性能	高品質(zhì)自動(dòng)抓圖及拼圖功能；結(jié)合自動(dòng)標(biāo)注存檔功能
隔震系統(tǒng)	隔振平臺(tái)，有效隔離高頻振動(dòng)
標(biāo)配外觀尺寸	長(zhǎng)：1200mm 寬：800mm 高：1500mm

晶體掃描儀—顯微掃描

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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