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    包郵 關(guān)注:635

    TX-A 系列 X-A系列可加熱和制冷 無錫溥匯機械冷水機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體輔助設(shè)備-其他-冷水機

    產(chǎn)品品牌

    無錫溥匯

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-江蘇省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：無錫溥匯

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體輔助設(shè)備-其他-冷水機

    TX-A 系列 X-A系列可加熱和制冷 無錫溥匯機械冷水機

    客戶選擇TX-A系列是因為其緊湊的尺寸，精確的溫度控制和其高可靠性。 TX-A系列可加熱和制冷。您也可以選擇一個更寬控溫度范圍，或為您定制一個特殊的配置。 

      【應(yīng)用領(lǐng)域】
    • 半導(dǎo)體設(shè)備 8英寸(Applied DPS poly,DPS metal,Super E; Lam Alliance 9100 oxide,9400 poly,9600 metal, Lam Exelan); 12英寸(Lam 2300 Poly,metal,EXELAN)
    • 激光設(shè)備
    • 分析設(shè)備
    • 掃描電子顯微鏡
    • Turbo或擴散泵
    • 太陽能/平板顯示器


      【性能參數(shù)】
      ●低溫可到-40℃
      ●磁耦合泵,無泄漏
      ●使用環(huán)?？商娲涿?br /> ●可遠程控制(CMS)
      ●對應(yīng)各主機廠商通信協(xié)議

      【產(chǎn)品規(guī)格】

    單通道熱交換器
    單通道
    單通道低溫
    雙通道
    雙通道低溫
          
     

    TX-30S

     

    【性能參數(shù)】

    ●水/液體熱交換器,高溫可到200℃
    ●超級節(jié)能
    ●可遠程控制(CMS)
    ●服務(wù)于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；對應(yīng)各主機廠商通信協(xié)議

    【產(chǎn)品規(guī)格】

    型號 TX-30S
    溫度控制 溫度控制范圍 :+30℃～+110℃（FW：facility water； 200℃:Optional）
    溫度控制精度 : ±0.1℃(無負載變化時)
    循環(huán)液 :Novec;Galden;DI/EG
    泵 TX-30SGLI: 磁耦合泵 1.5Kw； 20 liter/min at 0.50MPa
    30SDII : 不銹鋼泵 2.2Kw；50 liter/min at 0.75MPa
    熱交換能力 5kw @+30℃～+110℃
    加熱絲 6Kw
    外形尺寸 485（W）×760（D）×1300mm（H）
    重量 約120Kg
    電源 3相AC208V(380V) 30A

     

    TX-20A

     

     

    【性能參數(shù)】

    ●低溫可到-20℃
    ●磁耦合泵,無泄漏
    ●使用環(huán)?？商娲涿?br /> ●可遠程控制(CMS)
    ●服務(wù)于 8英寸(Applied DPS poly,DPS metal,Super E; Lam Alliance 9100 oxide,9400 poly,9600 metal, Lam Exelan); 12英寸(Lam 2300 Poly,metal,EXELAN)

    【產(chǎn)品規(guī)格】

    型號 TX-20A
    溫度控制 溫度控制范圍 : -20℃～+35℃
    溫度控制精度 : ±0.1℃(無負載變化時)
    循環(huán)液 :Novec;Galden;DI/EG
    泵 1.1Kw磁耦合泵
    20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135)
    冷凍機 冷卻能力:2kw @-10℃
    冷媒:HFC
    冷卻水:14L/min @+25℃
    加熱絲 4Kw
    外形尺寸 484（W）×675（D）×1200mm（H）
    重量 約120Kg
    電源 3相AC208V(380V) 30A


    【冷卻能力曲線】

     

    TX-20AL

     

     

    【性能參數(shù)】

    ●低溫可到-40℃
    ●磁耦合泵,無泄漏
    ●使用環(huán)保可替代冷媒
    ●可遠程控制(CMS)
    ●服務(wù)于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；對應(yīng)各主機廠商通信協(xié)議

    【產(chǎn)品規(guī)格】

    型號 TX-20AL
    溫度控制 溫度控制范圍 : -40℃～+35℃
    溫度控制精度 : ±0.1℃(無負載變化時)
    循環(huán)液 :Novec;Galden;DI/EG
    泵 1.1Kw磁耦合泵
    20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135)
    冷凍機 冷卻能力:2kw @-10℃；500w @-40℃
    冷媒:HFC
    冷卻水:14L/min @+25℃
    加熱絲 3Kw
    外形尺寸 484（W）×675（D）×1200mm（H）
    重量 約120Kg
    電源 3相AC208V(380V) 30A


    【冷卻能力曲線】


    TX-2020A

     

     

    【性能參數(shù)】

    ●雙循環(huán)通道
    ●低溫可到-20℃
    ●磁耦合泵,無泄漏
    ●使用環(huán)?？商娲涿?br /> ●可遠程控制(CMS)
    ●服務(wù)于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；對應(yīng)各主機廠商通信協(xié)議

    【產(chǎn)品規(guī)格】

    型號 TX-2020A； 通道1，通道2
    溫度控制 溫度控制范圍 : -20℃～+80℃
    溫度控制精度 : ±0.1℃(無負載變化時)
    循環(huán)液 :Novec;Galden;DI/EG
    泵 1.1Kw磁耦合泵
    20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135)
    冷凍機 冷卻能力:2kw @-10℃
    冷媒:HFC
    冷卻水:14L/min @+25℃
    加熱絲 4Kw
    外形尺寸 760（W）×1200（D）×1600mm（H）
    重量 約350Kg
    電源 3相AC208V(380V)


    【冷卻能力曲線】


    TX-2020AL

     

     

    【性能參數(shù)】

    ●低溫可到-20℃
    ●磁耦合泵,無泄漏
    ●使用環(huán)?？商娲涿?br /> ●可遠程控制(CMS)
    ●服務(wù)于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；對應(yīng)各主機廠商通信協(xié)議

    【產(chǎn)品規(guī)格】

    型號 TX-2020AL； 通道1，通道2
    溫度控制 溫度控制范圍 : -20℃～+80℃
    溫度控制精度 : ±0.1℃(無負載變化時)
    循環(huán)液 :Novec;Galden;DI/EG
    泵 1.5Kw磁耦合泵
    20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135)
    冷凍機 冷卻能力ch1:3kw @10℃; ch2:6kw@10℃
    冷媒:HFC
    冷卻水:14L/min @+25℃
    加熱絲 4Kw
    外形尺寸 660（W）×960（D）×1600mm（H）
    重量 約350Kg
    電源 3相AC208V(380V)


    【冷卻能力曲線】

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