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【應(yīng)用領(lǐng)域】
●LCD制造
●激光設(shè)備
●分析設(shè)備
●掃描電子顯微鏡
●Turbo或擴(kuò)散泵
●太陽(yáng)能/平板顯示器
【性能參數(shù)】
●不銹鋼泵
●可遠(yuǎn)程控制(CMS)
●對(duì)應(yīng)各主機(jī)廠商通信協(xié)議
【產(chǎn)品規(guī)格】
|
30Kw
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50Kw
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80Kw
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100Kw
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200Kw
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TX-WT為水/水熱交換系列。
客戶選擇TX-WT系列是因?yàn)槠渚o湊的尺寸，精確的溫度控制和其高可靠性。
【應(yīng)用領(lǐng)域】
●LCD制造
●激光設(shè)備
●分析設(shè)備
●掃描電子顯微鏡
●Turbo或擴(kuò)散泵
●太陽(yáng)能/平板顯示器
【性能參數(shù)】
●不銹鋼泵
●可遠(yuǎn)程控制(CMS)
●對(duì)應(yīng)各主機(jī)廠商通信協(xié)議
【產(chǎn)品規(guī)格】
| 型號(hào) | TX-H30KWT |
| 溫度控制 | 溫度控制范圍 : FW+1.5℃～+80℃(FW:Facility water) 溫度控制精度 : ±0.1℃(無(wú)負(fù)載變化時(shí)) 循環(huán)液 :DI |
| 泵 | 1.2Kw不銹鋼泵 50 Litter/Min @0.2Mpa(DI) |
| 冷卻能力 | 冷卻能力:30kw Fluid@35℃ FW@+17℃ FW:≥30L/min |
| 加熱絲 | 無(wú) |
| 外形尺寸 | 660（W）×960（D）×1600mm（H）（本體不含DI-tank） |
| 重量 | 約150Kg |
| 電源 | 3相AC208V(380V) |
【應(yīng)用領(lǐng)域】
●LCD制造
●激光設(shè)備
●分析設(shè)備
●掃描電子顯微鏡
●Turbo或擴(kuò)散泵
●太陽(yáng)能/平板顯示器
【性能參數(shù)】
●不銹鋼泵
●可遠(yuǎn)程控制(CMS)
●對(duì)應(yīng)各主機(jī)廠商通信協(xié)議
【產(chǎn)品規(guī)格】
| 型號(hào) | TX-H50KWT |
| 溫度控制 | 溫度控制范圍 : FW+1.5℃～+80℃(FW:Facility water) 溫度控制精度 : ±0.1℃(無(wú)負(fù)載變化時(shí)) 循環(huán)液 :DI |
| 泵 | 1.2Kw不銹鋼泵 70 Litter/Min @0.2Mpa(DI) |
| 冷卻能力 | 冷卻能力:80kw Fluid@35℃ FW@+17℃ FW:≥80L/min |
| 加熱絲 | 無(wú) |
| 外形尺寸 | 660（W）×960（D）×1600mm（H）（本體不含DI-tank） |
| 重量 | 約150Kg |
| 電源 | 3相AC208V(380V) |
TX-WT為水/水熱交換系列。
客戶選擇TX-WT系列是因?yàn)槠渚o湊的尺寸，精確的溫度控制和其高可靠性。
【應(yīng)用領(lǐng)域】
●LCD制造
●激光設(shè)備
●分析設(shè)備
●掃描電子顯微鏡
●Turbo或擴(kuò)散泵
●太陽(yáng)能/平板顯示器
【性能參數(shù)】
●不銹鋼泵
●可遠(yuǎn)程控制(CMS)
●對(duì)應(yīng)各主機(jī)廠商通信協(xié)議
【產(chǎn)品規(guī)格】
| 型號(hào) | TX-H80KWT |
| 溫度控制 | 溫度控制范圍 : FW+1.5℃～+80℃(FW:Facility water) 溫度控制精度 : ±0.1℃(無(wú)負(fù)載變化時(shí)) 循環(huán)液 :DI |
| 泵 | 1.2Kw不銹鋼泵 100 Litter/Min @0.2Mpa(DI) |
| 冷卻能力 | 冷卻能力:80kw Fluid@35℃ FW@+17℃ FW:≥80L/min |
| 加熱絲 | 無(wú) |
| 外形尺寸 | 660（W）×960（D）×1600mm（H）（本體不含DI-tank） |
| 重量 | 約200Kg |
| 電源 | 3相AC208V(380V) |
TX-WT為水/水熱交換系列。
客戶選擇TX-WT系列是因?yàn)槠渚o湊的尺寸，精確的溫度控制和其高可靠性。
【應(yīng)用領(lǐng)域】
●LCD制造
●激光設(shè)備
●分析設(shè)備
●掃描電子顯微鏡
●Turbo或擴(kuò)散泵
●太陽(yáng)能/平板顯示器
【性能參數(shù)】
●不銹鋼泵
●可遠(yuǎn)程控制(CMS)
●對(duì)應(yīng)各主機(jī)廠商通信協(xié)議
【產(chǎn)品規(guī)格】
| 型號(hào) | TX-H100KWT |
| 溫度控制 | 溫度控制范圍 : FW+1.5℃～+80℃(FW:Facility water) 溫度控制精度 : ±0.1℃(無(wú)負(fù)載變化時(shí)) 循環(huán)液 :DI |
| 泵 | 1.5Kw不銹鋼泵 130 Litter/Min @0.2Mpa(DI) |
| 冷卻能力 | 冷卻能力:100kw Fluid@35℃ FW@+17℃ FW:≥100L/min |
| 加熱絲 | 無(wú) |
| 外形尺寸 | 660（W）×960（D）×1600mm（H）（本體不含DI-tank） |
| 重量 | 約200Kg |
| 電源 | 3相AC208V(380V) |
TX-WT為水/水熱交換系列。
客戶選擇TX-WT系列是因?yàn)槠渚o湊的尺寸，精確的溫度控制和其高可靠性。
【應(yīng)用領(lǐng)域】
●LCD制造
●激光設(shè)備
●分析設(shè)備
●掃描電子顯微鏡
●Turbo或擴(kuò)散泵
●太陽(yáng)能/平板顯示器
【性能參數(shù)】
●不銹鋼泵
●可遠(yuǎn)程控制(CMS)
●對(duì)應(yīng)各主機(jī)廠商通信協(xié)議
【產(chǎn)品規(guī)格】
| 型號(hào) | TX-H200KWT |
| 溫度控制 | 溫度控制范圍 : FW+1.5℃～+80℃(FW:Facility water) 溫度控制精度 : ±0.1℃(無(wú)負(fù)載變化時(shí)) 循環(huán)液 :DI |
| 泵 | 2.5Kw不銹鋼泵 250 Litter/Min @0.2Mpa(DI) |
| 冷卻能力 | 冷卻能力:200kw Fluid@35℃ FW@+17℃ FW:≥200L/min |
| 加熱絲 | 無(wú) |
| 外形尺寸 | 660（W）×960（D）×1600mm（H）（本體不含DI-tank） |
| 重量 | 約200Kg |
| 電源 | 3相AC208V(380V) |
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