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    包郵 關(guān)注:351

    堅膜烘箱，真空堅膜烤箱

    產(chǎn)品品牌

    上海雋思

    庫       存：

    22

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥21.00
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    品牌：上海雋思

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體輔助設(shè)備-恒溫、加熱輔助設(shè)備-加熱臺

     堅膜烘箱，真空堅膜烤箱的用途：

       堅膜烘箱用于半導(dǎo)體制造中半導(dǎo)體襯底片、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料顯影后堅膜烘烤；也適用于涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤以及電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

    1、完全蒸發(fā)掉光刻膠里面的溶劑（以免在污染后續(xù)的離子注入環(huán)境，例如DNQ酚醛樹脂光刻膠中的氮會引起光刻膠局部爆裂）；

    2、以提高光刻膠在離子注入或刻蝕中保護(hù)下表面的能力；

    3、進(jìn)一步增強光刻膠與硅片表面之間的黏附性；

    4、進(jìn)一步減少駐波效應(yīng)。

    堅膜烘箱，真空堅膜烤箱主要參數(shù)：

    潔凈度：百級；

    電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%

    輸入功率：2000W

    溫度范圍：RT+10℃-250℃

    溫度分辨率：0.1℃

    溫度波動度：±0.5℃

    達(dá)到真空度：133Pa（可選擇熱風(fēng)循環(huán)烤箱）

    工作室尺寸（mm）：450*450*450

    擱板層數(shù)：2層

    設(shè)備采用先進(jìn)成熟的設(shè)計思想，制造技術(shù)。
    設(shè)備在具有優(yōu)良的品質(zhì)，即可靠性要高，使用壽命長。
    設(shè)備具有良好的操作性，方便的維修性，可靠的安全性。

    堅膜烘箱，真空堅膜烤箱使用注意事項：

    1、烘烤不足，抗蝕性差，容易掉膠，降低針孔填充能力，降低與基底的黏附能力。

    2、烘烤過度，掩膜難以去除或開裂，引起光刻膠的流動，使圖形精度降低，分辨率變差。
    3、腐蝕時間長的可以采取中途多次堅膜。

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