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    堅(jiān)膜烘箱,真空?qǐng)?jiān)膜烤箱

    產(chǎn)品品牌

    上海雋思

    庫(kù)       存:

    22

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    21.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:上海雋思

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體輔助設(shè)備-恒溫、加熱輔助設(shè)備-加熱臺(tái)

     堅(jiān)膜烘箱,真空?qǐng)?jiān)膜烤箱的用途:

       堅(jiān)膜烘箱用于半導(dǎo)體制造中半導(dǎo)體襯底片、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料顯影后堅(jiān)膜烘烤;也適用于涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤以及電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

    1、完全蒸發(fā)掉光刻膠里面的溶劑(以免在污染后續(xù)的離子注入環(huán)境,例如DNQ酚醛樹(shù)脂光刻膠中的氮會(huì)引起光刻膠局部爆裂);

    2、以提高光刻膠在離子注入或刻蝕中保護(hù)下表面的能力;

    3、進(jìn)一步增強(qiáng)光刻膠與硅片表面之間的黏附性;

    4、進(jìn)一步減少駐波效應(yīng)。

    堅(jiān)膜烘箱,真空?qǐng)?jiān)膜烤箱主要參數(shù):

    潔凈度:百級(jí);

    電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%

    輸入功率:2000W

    溫度范圍:RT+10℃-250℃

    溫度分辨率:0.1℃

    溫度波動(dòng)度:±0.5℃

    達(dá)到真空度:133Pa(可選擇熱風(fēng)循環(huán)烤箱)

    工作室尺寸(mm):450*450*450

    擱板層數(shù):2層

    設(shè)備采用先進(jìn)成熟的設(shè)計(jì)思想,制造技術(shù)。
    設(shè)備在具有優(yōu)良的品質(zhì),即可靠性要高,使用壽命長(zhǎng)。
    設(shè)備具有良好的操作性,方便的維修性,可靠的安全性。

    堅(jiān)膜烘箱,真空?qǐng)?jiān)膜烤箱使用注意事項(xiàng):

    1、烘烤不足,抗蝕性差,容易掉膠,降低針孔填充能力,降低與基底的黏附能力。

    2、烘烤過(guò)度,掩膜難以去除或開(kāi)裂,引起光刻膠的流動(dòng),使圖形精度降低,分辨率變差。
    3、腐蝕時(shí)間長(zhǎng)的可以采取中途多次堅(jiān)膜。

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