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    包郵 關(guān)注:638

    NanoMap-500LS 探針三維輪廓儀（臺階儀）美國蘆華

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-表面輪廓儀

    產(chǎn)品品牌

    美國蘆華

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    美國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

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    品牌：美國蘆華

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-表面輪廓儀

    NanoMap-500LS 探針三維輪廓儀（臺階儀）
    型號 NanoMap-500LS NanoMap-LS NanoMap-ES
    基本技術(shù)參數(shù) 具備探針掃描(Tip)和樣品臺掃描(Stage)兩種模式，既可完成長程大面積測量，也可得到最優(yōu)化的小區(qū)域二維/三維觀測圖。短程探針掃描采用精密的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到 500μm X 500μm，具有亞納米級垂直分辨率（最小0.1 nm）；長程樣品臺掃描使用高級光學(xué)參考平臺，能使掃描范圍達到150 mm。這兩種掃描方式分別為用戶提供精密和快速掃描。適用全系材料測量，幾乎可以接納任何材料表面。在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機，可對樣品直接觀察。
    臺階重復(fù)率 5A
    fine模式Z高度范圍 5μm
    coarse模式Z高度范圍 500μm(可選1.5mm)
    Tip Scan模式(XY) 最大500μm NO 最大500μm
    Stage Scan模式(XY) 最大150mm(可選200mm等) 最大300mm
    探針壓力 0.03-100mg
    樣品臺 150*150mm(可選200*200mm等) 300*300mm
    最大樣品厚度 50mm(可選100mm)
    樣品臺旋轉(zhuǎn) 360度
    樣品臺傾斜 4度
    應(yīng)力分析 Yes

     

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