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Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一款可針對(duì) III-V 和新型材料配置設(shè)計(jì)(包括需要電子束集成技術(shù)的應(yīng)用)的超靈活工具。該系統(tǒng)包含了生產(chǎn)設(shè)計(jì)技術(shù),可支持選配的組合設(shè)備工具晶片傳輸系統(tǒng)以實(shí)現(xiàn)理想的實(shí)驗(yàn)室到工廠遷移
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