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    GEN20MBE系統(tǒng)設計可針對III-V 和新型材料進行配置的超靈活工具

    產品品牌

    Veeco

    庫       存：

    100

    產       地：

    中國-上海市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥10000.00
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    品牌：Veeco

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-外延類設備-MBE分子束外延設備

    GEN20 MBE 系統(tǒng)

    設計可針對 III-V 和新型材料進行配置的超靈活工具

    Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一款可針對 III-V 和新型材料配置設計（包括需要電子束集成技術的應用）的超靈活工具。該系統(tǒng)包含了生產設計技術，可支持選配的組合設備工具晶片傳輸系統(tǒng)以實現(xiàn)理想的實驗室到工廠遷移

    • 適用于材料研究和預生產環(huán)境
    • 通過 12 MBE 源端口和用于添加電子束功能的選件，實現(xiàn)源到基底的垂直走向
    • 手動或自動晶片傳輸選件
    • 可配置冷凝板、操作器、快門和原位監(jiān)測設備
    • 模塊化設計，最多允許兩個生長模塊
     

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