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Veeco GENxplor R&D MBE系統(tǒng)

GENxplor R&D MBE 系統(tǒng)

業(yè)內(nèi)首個適用于化合物半導(dǎo)體研發(fā)市場的一體式 MBE 系統(tǒng)。

Veeco 的獲獎 GENxplor™ R&D MBE 系統(tǒng)采用 Veeco 久經(jīng)驗證的 GEN10™ MBE 系統(tǒng)生長室設(shè)計，具備無與倫比的工藝靈活性，是 UV LED、高效率太陽能電池和高溫超導(dǎo)體等新興技術(shù)材料研究的完美之選。其高效的單幀設(shè)計將所有真空硬件與車載電子器件相結(jié)合，比其他 MBE 系統(tǒng)小 40%，可有效節(jié)省寶貴的實驗室空間。由于手動系統(tǒng)被集成在一個單一框架中，因此可減少安裝時間。GENxplor MBE 系統(tǒng)的開放式結(jié)構(gòu)設(shè)計同樣加強了易用性，便于使用裂解蒸鍍瓶，且相比其他 MBE 系統(tǒng)更易維護(hù)。與 Veeco 近期推出的可伸縮源結(jié)合使用時，GENxplor MBE 系統(tǒng)堪稱氧化物材料研究領(lǐng)域最先進(jìn)的系統(tǒng)。

高質(zhì)量的外延層在基板上的直徑長達(dá) 3"
獨特的單幀結(jié)構(gòu)易于使用，提供便捷的源訪問和改善的可維護(hù)性
高效的一體式設(shè)計將手動系統(tǒng)與車載電子器件相結(jié)合，比其他 MBE 系統(tǒng)節(jié)省了 40% 的實驗室空間
GaAs、氮化物、氧化物等各種材料的尖端研究的理想之選
Molly® 軟件集成簡單程序編寫、自動生長控制和“始終開啟”的數(shù)據(jù)記錄三大功能
選配的 Nova™ 超高溫襯底加熱器性能被證實可達(dá) 1850°
直接擴展至 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系統(tǒng)

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