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    X62 D13B-6W-1型雙面拋光機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-拋光機

    產(chǎn)品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號:

    13B雙面拋光機

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號:13B雙面拋光機

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-拋光機

     X62 D13B-6W-1型拋光機技術(shù)規(guī)格書

    一、 用途和特點

    1.1、本設(shè)備主要用于光學(xué)玻璃、陶瓷、電子材料及硅、鍺、計算機磁盤等金屬、非金屬硬脆材料的雙面高精度拋光加工。

    1.2、整機采用龍門結(jié)構(gòu),主體采用箱形結(jié)構(gòu),整體穩(wěn)定性高,剛性好。

    1.3、本機可以對兩平行平面的玻璃晶片或其它機械零件進行雙面高精度拋光加工,特別是薄脆性材料的加工,由于采用對工件非強制約束方式,因此在拋光過程中零件不易破損。

    1.4、該拋光機加壓系統(tǒng)分成輕壓拋光、 中壓拋光和重壓拋光和修正(輕壓)四個壓力段,能適應(yīng)較廣泛的各類用戶拋光各種零件。

    1.5、本設(shè)備上拋光盤快升、快降、緩升、緩降集中于同一個手柄上,操作方便

    采用三相交流異步電機,變頻調(diào)速,起動及停車平穩(wěn),無沖擊。

    1.6設(shè)備采用計數(shù)程序控制,也可采用時間控制,還可測頻儀控制。到預(yù)測目標(biāo)值屆時自動停車。因此,一人可同時操作多臺機器。

    1.7、本設(shè)備電氣通過PLC控制,四行文本顯示器顯示。

    二、主要技術(shù)參數(shù)

    2.1、上下盤尺寸(外徑×內(nèi)徑×厚度):Φ933mm×Φ349mm×45mm

    2.3、 游星輪規(guī)格:        DP12   Z=147  α=20°

    2.3、游星輪數(shù)量:        6個

    2.4、加工能力 :         108片/φ50mm,30片/φ100mm,18片/φ125mm

    2.5、最小加工厚度:      0.20mm

    2.6、下盤轉(zhuǎn)速:          0~50rpm

    2.7、主電機:            7.5kW  AC380V  1460rpm

    2.8、設(shè)備外形尺寸:      1800mm×1300mm×2700mm

    2.9、設(shè)備質(zhì)量:          約3000kg

    三、基本配置

    l 氣動元件:                               亞德客、SMC等

    l 減速器:                          杭州

    l 主要軸承:                             哈瓦洛軸等

    l 可編程控制器〔PLC〕                         DELTA  

    l 四行文本顯示器                             DELTA

    l 變頻器                               OMRON

    l 旋鈕開關(guān)、電器開關(guān)                          213、和泉等

    l 主電機                                      國產(chǎn)

    四、設(shè)備的安裝及使用條件

    4.1、 設(shè)備箱體上裝有四個起吊柱,專門用于設(shè)備搬運時吊裝,設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。

        設(shè)備安裝的條件為:

          a、溫度10℃-25℃

          b、相對濕度≤95%

          c、電源電壓AC380±38V(三相五線制)

          d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa(干燥的清潔空氣)

          e、冷卻水 10-20℃,0.15-0.2MPa

    4.2、設(shè)備可直接放在地板上,調(diào)整六個地腳螺栓可校正設(shè)備的水平,校正時,用水平儀在下拋盤上檢測(即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正),其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。

    五、整機精度指標(biāo)

    5.1、上下拋光盤平面度:≤0.02mm

    5.2、下拋光盤端面跳動允差:≤0.06mm

     

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