一、 用途和特點(diǎn)

1.1、本機(jī)主要用于藍(lán)寶石、彩色濾光片、硅片、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面拋光，也可用于其它硬脆材料的雙面高精度拋光。

1.2、采用電氣比例減壓閥電控調(diào)節(jié)正壓（輸出壓力因輸入電壓的變化而平滑地改變），選用荷重傳感器時(shí)時(shí)檢測(cè)工件受力，并將信號(hào)反饋給控制單元構(gòu)成壓力的閉環(huán)控制，壓力控制精確。

1.3、高性能變頻器配合三相異步電動(dòng)機(jī)拖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的軟啟動(dòng)、軟停止等功能，調(diào)速穩(wěn)定、沖擊小。

1.4、該機(jī)可由用戶設(shè)定存貯多套不同的工藝參數(shù)（壓力、時(shí)間、速度、速比、緩降壓力、浮動(dòng)時(shí)間等），以供操作工調(diào)用。

1.5、該機(jī)具有拋光盤自動(dòng)稱重功能，以此配合拋光壓力設(shè)定，從而保證了同樣拋光工藝參數(shù)（所設(shè)壓力、時(shí)間、速度以及拋光液粒度、濃度、流量）的拋光效率長(zhǎng)久不變.

1.6、該機(jī)具有浮動(dòng)啟動(dòng)功能，即在緩降時(shí)啟動(dòng)主機(jī)，滿足某些工件要求上盤動(dòng)態(tài)接觸的拋光工藝方案；若不需要此功能，將浮動(dòng)啟動(dòng)時(shí)間設(shè)定為零，緩降到位后再啟動(dòng)即可。

1.7、該機(jī)的太陽輪既可正轉(zhuǎn)運(yùn)行，也可反轉(zhuǎn)運(yùn)行（相對(duì)于齒圈和下拋光盤, 人機(jī)界面首屏上選定）。

二、主要技術(shù)參數(shù)

2.1、 拋光盤尺寸（外徑×內(nèi)徑×厚度）：Φ933mm×Φ349mm×45mm

2.2、游星輪規(guī)格：        Z=147  DP12  α=20°

2.3、游星輪數(shù)量：        6個(gè)

2.4、加工能力 ：         108片/φ50mm，30片/φ100mm，18片/φ125mm

2.5、最小加工厚度：      0.20mm

2.6、下盤轉(zhuǎn)速：          0～40rpm

2.7、太陽輪轉(zhuǎn)速          0～20rpm

2.8、內(nèi)齒圈轉(zhuǎn)速           0～15rpm

2.9、主電機(jī)：             7.5kW    1460rpm

2.10、太陽輪電機(jī)：        1.5kW    1400rpm

2.11、齒圈電機(jī):           1.5kW    1400rpm

2.12、設(shè)備外形尺寸：      1600mm×1200mm×2850mm

2.13、設(shè)備質(zhì)量：          約3000kg

三、設(shè)備的安裝及使用條件

3.1、 設(shè)備箱體上裝有四個(gè)起吊柱，專門用于設(shè)備搬運(yùn)時(shí)吊裝，設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦，遠(yuǎn)離振動(dòng)源，無灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。

    設(shè)備安裝的條件為：

      a、溫度10℃-25℃

      b、相對(duì)濕度≤95%

      c、電源電壓AC380±38V（三相五線制）

 d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa（干燥的清潔空氣）

      e、冷卻水 10-20℃，0.15-0.2MPa

3.2、設(shè)備可直接放在地板上，調(diào)整六個(gè)地腳螺栓可校正設(shè)備的水平，校正時(shí)，用水平儀在下拋盤上檢測(cè)（即在相互垂直的兩個(gè)方向上檢測(cè)、校正），其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。

四、整機(jī)精度指標(biāo)

4.1、上下拋光盤平面度：≤0.02mm

4.2、 下拋光盤端面跳動(dòng)允差：≤0.06mm

五、基本配置

5.1、氣動(dòng)元件        　　　                    SMC

5.2、減速器　　　　　　　　　　                國(guó)產(chǎn)

5.3、軸承      　　　　　　                    國(guó)產(chǎn)

5.4、可編程控制器〔PLC〕                       OMRON  

5.5、可編程人機(jī)界面PT　                        OMRON

5.6、拉力傳感器              　　　　           國(guó)產(chǎn)

5.7、變頻器　　　　　　　                       施耐德

5.8、 低壓電器       213、魏德米勒等

5.9、 旋鈕開關(guān)、電器開關(guān)                213、和泉等

5.10電機(jī)                                        國(guó)產(chǎn)