一、 用途和特點

1.1、本機主要用于藍寶石、彩色濾光片、硅片、陶瓷片、石英晶體及其他半導體材料的雙面拋光，也可用于其它硬脆材料的雙面高精度拋光。

1.2、采用電氣比例減壓閥電控調(diào)節(jié)正壓（輸出壓力因輸入電壓的變化而平滑地改變），選用荷重傳感器時時檢測工件受力，并將信號反饋給控制單元構成壓力的閉環(huán)控制，壓力控制精確。

1.3、高性能變頻器配合三相異步電動機拖動，實現(xiàn)了設備的軟啟動、軟停止等功能，調(diào)速穩(wěn)定、沖擊小。

1.4、該機可由用戶設定存貯多套不同的工藝參數(shù)（壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等），以供操作工調(diào)用。

1.5、該機具有拋光盤自動稱重功能，以此配合拋光壓力設定，從而保證了同樣拋光工藝參數(shù)（所設壓力、時間、速度以及拋光液粒度、濃度、流量）的拋光效率長久不變.

1.6、該機具有浮動啟動功能，即在緩降時啟動主機，滿足某些工件要求上盤動態(tài)接觸的拋光工藝方案；若不需要此功能，將浮動啟動時間設定為零，緩降到位后再啟動即可。

1.7、該機的太陽輪既可正轉運行，也可反轉運行（相對于齒圈和下拋光盤, 人機界面首屏上選定）。

二、主要技術參數(shù)

2.1、 拋光盤尺寸（外徑×內(nèi)徑×厚度）：Φ933mm×Φ349mm×45mm

2.2、游星輪規(guī)格：        Z=147  DP12  α=20°

2.3、游星輪數(shù)量：        6個

2.4、加工能力 ：         108片/φ50mm，30片/φ100mm，18片/φ125mm

2.5、最小加工厚度：      0.20mm

2.6、下盤轉速：          0～40rpm

2.7、太陽輪轉速          0～20rpm

2.8、內(nèi)齒圈轉速           0～15rpm

2.9、主電機：             7.5kW    1460rpm

2.10、太陽輪電機：        1.5kW    1400rpm

2.11、齒圈電機:           1.5kW    1400rpm

2.12、設備外形尺寸：      1600mm×1200mm×2850mm

2.13、設備質(zhì)量：          約3000kg

三、設備的安裝及使用條件

3.1、 設備箱體上裝有四個起吊柱，專門用于設備搬運時吊裝，設備應安裝在地面平坦，遠離振動源，無灰塵煙霧污染的場所。

    設備安裝的條件為：

      a、溫度10℃-25℃

      b、相對濕度≤95%

      c、電源電壓AC380±38V（三相五線制）

 d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa（干燥的清潔空氣）

      e、冷卻水 10-20℃，0.15-0.2MPa

3.2、設備可直接放在地板上，調(diào)整六個地腳螺栓可校正設備的水平，校正時，用水平儀在下拋盤上檢測（即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正），其水平應調(diào)至0.06/1000mm。

四、整機精度指標

4.1、上下拋光盤平面度：≤0.02mm

4.2、 下拋光盤端面跳動允差：≤0.06mm

五、基本配置

5.1、氣動元件        　　　                    SMC

5.2、減速器　　　　　　　　　　                國產(chǎn)

5.3、軸承      　　　　　　                    國產(chǎn)

5.4、可編程控制器〔PLC〕                       OMRON  

5.5、可編程人機界面PT　                        OMRON

5.6、拉力傳感器              　　　　           國產(chǎn)

5.7、變頻器　　　　　　　                       施耐德

5.8、 低壓電器       213、魏德米勒等

5.9、 旋鈕開關、電器開關                213、和泉等

5.10電機                                        國產(chǎn)