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    X62 D15B2M-7S-1型雙面拋光機

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-拋光機

    產品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號:

    15B-7雙面拋光機

    庫       存:

    100

    產       地:

    中國-江蘇省

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號:15B-7雙面拋光機

    所屬系列:半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-拋光機

     X62 D15B2M-7S-1雙面拋光機技術規(guī)格書

    一、產品用途

    本機是手機視窗玻璃、計算機觸摸屏、光學玻璃等非金屬硬脆材料的高精度雙面拋光加工專用設備,也可用于半導體硅片、陶瓷、計算機支架零件等金屬與非金屬硬脆材料異形平行平面材料的雙面拋光加工。

    二、主要特點

    2.1可拓展性強:后期通過定制不同的上下盤、太陽輪等零部件可實現5S與6S等設備之間的相互轉換,可滿足對尺寸不大于290mm、320mm、360mm等工件的雙面高精度拋光加工。

    2.2產能大:單臺設備的產能較以往的13B設備提高了20%,生產率得到了大幅度的提升。

    2.3可維護性強:整機采用扣板骨架包裸結構,去除各門板后主體結構完全裸露于施工者,拆卸維護方便。

    2.4操作簡單方便:本機設有自動與手動兩種操作模式,設定好壓力、速度、時間后設備即按即定的程序運行,到時自動停機。也可采用計數程序控制(訂購時需注明)模式,到預定值時自動停機,一人可同時操作多臺設備。

    2.5速比設置合理:整機采用雙電機聯合拖動方式,即上下盤及內齒圈、太陽輪分別由不同的電機拖動,配合變頻調速系統,速比調整范圍更寬,可根據不同行業(yè)、不同材料對設備的加工工藝要求進行速比的合理搭配,工藝適應性好,通過速比的合理設置,提高了設備運轉同步性。

    2.6使用壽命長:整機配套四點自動潤滑裝置,可設定周期性的對運動部件(齒輪副)進行自動潤滑,大大提高了設備的使用壽命,維護方便。

    2.7結構緊湊體積小:充分考慮了設備的安裝條件,通過優(yōu)化結構滿足了體積小、重量輕的現代工業(yè)機械標準,可滿足加工廠房空間不小于8m2任一樓層安裝的條件。

    三、主要技術參數

    3.1拋光盤尺寸:

    Ø 拋光機:φ1041mm×φ457mm×50mm(鑄鐵)

    3.2游星片參數:齒數Z=147  模數DP12  α=20°

    3.3游星片數量:7片

    3.4修正輪數量:4個

    3.5最小拋光厚度: 0.2mm/φ50mm

    3.6最大拋光直徑:φ240mm

    3.7下拋光盤轉速:0~60rpm

    3.8 加工能力 :   126片/φ50mm,35片/φ100mm,21片/φ125mm

    3.9整機功率:

    Ø 主傳動拖動電機

    11kW、AC380V、1460rpm、50Hz

    Ø 太陽輪電機

    2.2kW、AC380V、1430rpm、50Hz

    Ø 供液泵功率:1/4HP,流量:70L/min。

    3.10設備外形尺寸(長×寬×高):1740mm×1220mm×2590mm

    3.11設備質量:約3300kg

    四、設備主要配置

    4.1氣動元件                          MAC、SMC

    4.2減速機                            杭州恒星

    4.3軸承                        哈瓦洛軸

    4.4關節(jié)軸承                          福建龍溪

    4.5可編程控制器〔PLC〕               臺達  

    4.6人機界面〔PT〕                    臺達

    4.7開關電源                          臺達

    4.8變頻器                     施耐德

    4.9旋鈕開關                          和泉

    4.10低壓電器                         213廠、施耐德

    4.11電機                             國產

    五、 設備總體技術要求

    5.1 下盤平面度<0.035mm

    5.2  下盤端面跳動<0.06mm

    六、設備的安裝及使用條件

    6.1、 設備箱體上裝有四個起吊柱,專門用于設備搬運時吊裝,設備應安裝在地面平坦,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。

        設備安裝的條件為:

          a、溫度10℃-25℃

          b、相對濕度≤95%

          c、電源電壓AC380V±38V(三相五線制)

       d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa(干燥的清潔空氣)

          e、冷卻水 10-20℃,0.15-0.2MPa

    6.2、設備可直接放在地板上,調整六個地腳螺栓可校正設備的水平,校正時,用水平儀在下研盤上檢測(即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正),其水平應調至0.06/1000mm。

     

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