為超高分辨新開(kāi)發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng)

MAIA3 model 2016產(chǎn)品是一款具有超高表面靈敏度的高分辨掃描電子顯微鏡，在不同加速電壓下均有著出色的成像能力。MAIA3 model 2016在低電壓下也有極好的性能，尤其對(duì)電子束敏感的半導(dǎo)體器件樣品以及納米材料等都具有優(yōu)異的表面靈敏度及高空間分辨率。全新的MAIA3也非常適合研究不導(dǎo)電試樣如原始狀態(tài)的生物樣品。

主要特點(diǎn)：

Triglav^TM——新開(kāi)發(fā)的超高分辨電子光學(xué)鏡筒并配備TriLens^TM物鏡及先進(jìn)的探測(cè)系統(tǒng)

超高分辨率 0.7@15keV，1.0nm@1keV

浸沒(méi)式物鏡系統(tǒng)和無(wú)交叉電子束模式結(jié)合在一起，可在低能量下實(shí)現(xiàn)超高分辨成像。浸沒(méi)式物鏡能在樣品周?chē)a(chǎn)生強(qiáng)磁場(chǎng)，顯著降低了像差。而無(wú)交叉電子束模式則降低了Boersch效應(yīng)，對(duì)電子束進(jìn)行進(jìn)一步的優(yōu)化，最終達(dá)到1.0nm @1keV的超高分辨率。

低電壓和超低電壓成像

電子束減速技術(shù)(BDT)包括了電子束減速模式（BDM），以及在這個(gè)模式下可同步獲取二次電子和背散射電子信號(hào)的高質(zhì)量的透鏡內(nèi)探頭。在電子束減速模式下，通過(guò)加在樣品臺(tái)上的負(fù)偏壓使得電子束在作用到樣品表面前降低能量。最低的著陸電壓可以降低到50eV(在手動(dòng)控制下可以降到0eV)。電子束減速模式下減少了光路畸變，增強(qiáng)了電子鏡筒的性能，因而在低電壓下可以獲得更小的束斑直徑和高分辨的圖片。低電壓成像可以有效減少在觀察不導(dǎo)電樣品成像時(shí)出現(xiàn)的放電效應(yīng)，也有利于對(duì)那些電子束敏感樣品和未噴鍍處理的樣品的觀察。在這個(gè)模式下，可以達(dá)到對(duì)于表面形貌及成分襯度分析的極限分辨率。

應(yīng)用

MAIA3 model 2016非常適合非導(dǎo)電樣品和電子束敏感樣品的成像，如各種原始狀態(tài)的生物樣品。MAIA3 model 2016能獲得高靈敏的表面形貌，其出色的低電壓性能和高分辨成像是各個(gè)科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域最佳的SEM系統(tǒng)選擇。

材料科學(xué)

MAIA3 model 2016在低電壓下有著很好的分辨率，對(duì)納米材料的表征有著極大的優(yōu)勢(shì)。尤其適合各種敏感材料和不導(dǎo)電材料（如陶瓷，聚合物，玻璃，纖維等）。

半導(dǎo)體，光電和太陽(yáng)能電池

MAIA3 model 2016能被高效地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的失效分析中（集成電路，半導(dǎo)體超薄切片檢測(cè)，太陽(yáng)能電池，納米傳感器等）

光刻

擁有超高分辨率的MAIA3 model 2016在電子束刻蝕領(lǐng)域也是個(gè)強(qiáng)大的工具。而且MAIA3 model 2016非常適合在高能電子束下很容易受到損傷的光刻膠的成像。

生命科學(xué)

低電壓下?lián)碛谐叻直媛实腗AIA3 model 2016能不需要鍍導(dǎo)電膜進(jìn)行樣品在原始狀態(tài)下的觀察。

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