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    顯微鏡直線電機XY平臺

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體輔助設備-工作臺-其他

    產品品牌

    海德星

    庫       存：

    1000

    產       地：

    中國-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：海德星

    型號：

    所屬系列：半導體輔助設備-工作臺-其他

     產品概述 

    正置顯微鏡直線電機XY系列平臺，作為全新一代的高性能直驅電機，磁浮直線電機具有無回程間隙、精度高、動態(tài)速度范圍大、高可靠性以及免維護等傳統(tǒng)絲桿驅動系統(tǒng)不具備的優(yōu)點，海德星科技開創(chuàng)性的將半導體行業(yè)的磁浮直線電機率先用于顯微鏡掃描平臺上，使得顯微鏡平臺在掃描類應用以及微觀領域操作突破了傳統(tǒng)產品的種種瓶頸。其永不磨損以及免維護的特點更是傳統(tǒng)電機完全無法比擬的，是高精度掃描、病理檢測、顯微操作、晶圓分析等各類先進應用的不二之選。


    產品參數(shù)

    行程：                                  80mm（X軸） x  60mm（Y軸）
    最小速度：                          ≤1um/s
    最大速度：                          ≥100mm/s
    最小步長*：                        ≤50nm
    雙向重復定位精度**：      ≤1um（測試標準ISO230-2）
    定位精度**：                          ≤±2um（測試標準ISO230-2）
    正交性：                             ≤10arc·sec
    電機：                                 磁浮直線電機
    編碼器分辨率：                156nm（可選更高分辨率編碼器）
    軸承：                                精密交叉滾珠軸承
    限位方式：                        三重限位，軟限位+光電限位+機械限位
    材質：                                鋁合金6061-T6
    表面處理方式：                黑色陽極氧化
    重量：                                3.2kg
    最大負載：                        ≤1.5kg

    注：
    *最小步長使用請直接咨詢廠家
    **所有有效精度皆需要使用海德星標準控制器

     

    訂購須知    

    1、訂購型號HDS-MS-XY8060LE156-I
    2、訂購時請注明所使用的顯微鏡型號
          目前支持的顯微鏡型號為：
          OLMPUS（奧林巴斯）：CX4 / BX41 / BX43 / BX51 / BX53
          NIKON（尼康）：Ci / Ci-E / Ni
          ZEISS（蔡司）：AXIO SCOPE A1
          SUNNY OPTIC（舜宇光學）：CX40 / RX50
    3、可選標準切片座（標準產品清單中不含切片座）
    4、可選手動搖桿控制器
    5、為了保護操作者及設備安全，廠家出廠時限制了最高速度及加速度，如有要求請咨詢廠家
    6、如所使用型號未在支持的型號中，請直接咨詢廠家
    7、可接受特殊定制

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