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HLI-A型白光干涉垂直掃描表面形貌綜合測(cè)量?jī)x是基于光學(xué)干涉原理,實(shí)現(xiàn)超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面結(jié)構(gòu)的非接觸精密測(cè)量,幫助表面形貌功能質(zhì)量評(píng)價(jià)和工藝分析
1.產(chǎn)品型號(hào):WLI-A
2.產(chǎn)地:中國(guó)武漢
3.產(chǎn)品功能:基于光學(xué)干涉原理,實(shí)現(xiàn)超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面結(jié)構(gòu)的非接觸精密測(cè)量,幫助表面形貌功能質(zhì)量評(píng)價(jià)和工藝分析。
4.特性參數(shù)
型號(hào) 指標(biāo) |
HLI-A |
HLI-C |
放大倍率 |
10╳, 20╳,50╳ |
|
垂直分辨率 (nm) |
0.1 |
|
垂直范圍(mm) |
0.08 |
4mm |
水平分辨率(um) |
3.0 (10倍), 1.0 (20倍),0.5 (50倍) |
|
水平范圍(mm2) |
2×1.5/10╳,1×0.8 /20╳,0.4×0.3 /50╳ |
20×20 |
輸出標(biāo)準(zhǔn)化參數(shù) |
二維粗糙度參數(shù)(ISO25178):Ra,Rz,Rz,Rmax,Rp,Rq,Rpm,Rvm,R3z ,Wt,Pt,Tpa Ra 三維粗糙度參數(shù)(ISO25178):Sa, Sq, Sp, Sv, Sz, Ssk, Sku, Sal, Str, Sds, Sdq, Sdr, Ssc |
5.應(yīng)用實(shí)例
(1)H=1.2μm標(biāo)準(zhǔn)單刻線樣板測(cè)量
(2)Ra=1.732μm標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板測(cè)量
(3)MEMS結(jié)構(gòu)表面MEME-1測(cè)量結(jié)果
(4)MEMS結(jié)構(gòu)表面MEME-2測(cè)量結(jié)果
(5)MEMS結(jié)構(gòu)表面MEME-3測(cè)量結(jié)果
(6)MEMS結(jié)構(gòu)表面MEME-4測(cè)量結(jié)果
6.經(jīng)典應(yīng)用領(lǐng)域:
(1)質(zhì)量管理
(2)工藝控制
(3)產(chǎn)品研發(fā)
武漢紅星楊科技有限公司(簡(jiǎn)稱“紅星楊科技”)是致力于光機(jī)產(chǎn)品制造商和系統(tǒng)解決方案提供商的創(chuàng)新型企業(yè)。
紅星楊科技通過(guò)資源整合吸納了包含高校和研究所在內(nèi)的高端科研技術(shù)資源,為公司遠(yuǎn)景發(fā)展創(chuàng)造了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ);主營(yíng)業(yè)務(wù)包含:精密位移平臺(tái)、精密運(yùn)動(dòng)控制、光學(xué)平臺(tái)、光學(xué)調(diào)整架、光機(jī)系統(tǒng)儀器、作物表型儀器、進(jìn)口光機(jī)產(chǎn)品。紅星楊科技將立足于光電產(chǎn)業(yè),堅(jiān)持高科技、高價(jià)值、高效益三大目標(biāo),打造實(shí)力品牌優(yōu)勢(shì)、系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)和價(jià)值優(yōu)勢(shì)的知名光電企業(yè)。
今天;明天,無(wú)論在工業(yè)自動(dòng)化、計(jì)量、顯微,生命科技,還是激光技術(shù),精密加工技術(shù);無(wú)論是半導(dǎo)體科技,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù),還是光電子/光纖,天文等領(lǐng)域,紅星楊科技的產(chǎn)品和技術(shù)將得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用,也贏得了越來(lái)越廣泛的贊譽(yù)。紅星楊科技“聚焦科技之美,創(chuàng)造光機(jī)精品”!
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