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G200M，G150M和G150S激光平面干涉儀

G200M，G150M和G150S平面激光干涉儀為正立式結(jié)構(gòu)，通光口徑分別為200mm和150mm。
G200M彌補(bǔ)了國(guó)內(nèi)使用有效口徑150mm的干涉儀測(cè)試大尺寸光學(xué)系統(tǒng)和光學(xué)元件，不能全口徑測(cè)試的不足，改善提高了大口徑光學(xué)系統(tǒng)和光學(xué)元件測(cè)試精度。
G150M型平面干涉儀專為計(jì)量級(jí)測(cè)試的需求設(shè)計(jì)，適用于計(jì)量機(jī)構(gòu)檢定和校準(zhǔn)光學(xué)平晶。其集高性能、長(zhǎng)壽命氦氖激光器，1-6.7倍圖像放大功能，高精度的成像系統(tǒng)和圖像采集系統(tǒng)，精密平面標(biāo)準(zhǔn)鏡等一系列高精技術(shù)，通過(guò)優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)和機(jī)械系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)高精密平面光學(xué)元件的測(cè)量。選配靜態(tài)干涉條紋分析軟件，實(shí)現(xiàn)數(shù)字化測(cè)量。
G150S為G150M的簡(jiǎn)化版本，適合光學(xué)車間的現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)。
主要用途：平面類光學(xué)元件（包括玻璃、金屬、陶瓷等）表面面形、光學(xué)平行度和材料均勻性的測(cè)試；準(zhǔn)直系統(tǒng)波前質(zhì)量的測(cè)試。

G200M，G150M和G150S激光平面干涉儀

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