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    襯底減薄設(shè)備 crystapol

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-拋光機

    產(chǎn)品品牌

    crystapol

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：crystapol

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-拋光機

    精密拋光機介紹：

    1. GNAD61 精密研磨拋光機，主機及所有的零備件均采用高防腐蝕材料，整機防腐，適用于硅等多種半導(dǎo)體材料的化學(xué)機械研磨拋光。設(shè)備可加工樣品尺寸范圍為４英寸以下樣片。

     

    2. GNAD61 設(shè)備設(shè)有一個工作站，可加工一片４英寸的樣品及若干小于 4英寸的不同形狀及尺寸的樣片。設(shè)備夾具具有１００％范圍擺動的功能。這一功能設(shè)計，可以保證設(shè)備在研磨拋光過程中，實現(xiàn)樣品的全擺動拋光，大大提升了設(shè)備的拋光產(chǎn)能及效率，同時也避免了拋光時間過長造成的樣片塌邊現(xiàn)象。

     

    3. GNAD61 設(shè)備主機配有真空系統(tǒng)和自動填料系統(tǒng)等相關(guān)組件。真空系統(tǒng)，包括真空泵，過濾系統(tǒng)及相關(guān)連接組件。真空系統(tǒng)通過抽真空的方式將樣品直接吸附在樣品固定裝置底面。根據(jù)不同工藝要求，真空系統(tǒng)可以直接吸附樣品或者直接吸附貼有樣品的玻璃基板。GNAD61 設(shè)備隨主機標(biāo)配的玻璃基板采用高質(zhì)量浮法玻璃，經(jīng)過精密的研磨工藝使基本實現(xiàn)高平整度，ＴＴＶ≤２ｕｍ．真空系統(tǒng)搭載的過濾裝置，可以有效的過濾磨拋過程中產(chǎn)生的廢料液，以避免廢液被吸入真空泵造成故障。設(shè)備型號：OCTY302


    產(chǎn)地：英國  品牌：crystapol
    設(shè)備型號：Gnad61

    交貨期：4個月

    價格：200萬

    聯(lián)系人：劉經(jīng)理

    聯(lián)系電話：18901246266

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