應(yīng)用方向:PD/APD芯片篩選測試,GaAs射頻芯片S參數(shù)測試,MEMS晶圓管芯篩選測試等。
APS-2000半自動測試探針臺針對8英寸晶圓片測試而設(shè)計的一體化在片測試解決方案,同時可提供射頻微波、高壓大電流測量能力。探針臺載片臺平面采用鋁合金鍍金保證測試過程中的低接觸電阻、超薄晶圓片處理和功率耗散,同時提供低漏電噪聲的保護(hù)及屏蔽環(huán)境。為了保證高壓測試的人身安全,APS-2000探針臺采用了安全互鎖系統(tǒng)機(jī)構(gòu)和測試系統(tǒng)級聯(lián)。
AutoMap探針臺控制軟件簡單直觀控制載片臺XYZ三向的步進(jìn)移動,wafer圖形分布描述,芯片圖像對準(zhǔn),坐標(biāo)定位等功能,同時配置經(jīng)典的四向迷你位置操作鍵盤。
ATE2.0晶圓參數(shù)自動化測試軟件可控制多種測試儀器,包括半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、阻抗分析儀等,支持TPS200、APS-1500、FAPS-1500自動化測試探針臺,實現(xiàn)晶圓在片的自動化批量篩選測試。
主要功能:
WaferMap圖描述:采用工業(yè)相機(jī),通過圖像算法實時掃描Wafer并對Die進(jìn)行對準(zhǔn)
Chuck控制:AutoMap軟件或經(jīng)典鍵盤多向操控Chuck移動
Wafer圖形模式:圓形、陣列、環(huán)形、探邊多種形式式,可自定義學(xué)習(xí)模式。
Die坐標(biāo)查詢:實時顯示更新Die相對坐標(biāo)
打點方式:噴墨,離線打點、異步打點
測試接口:TTL電平、RS232、GPIB、以太網(wǎng)
支持探針:直流鎢探針、RF探針、高壓探針,大電流探針
支持儀器:Keysight 源表、網(wǎng)絡(luò)分析儀、LCR表;Keithley 2400,6487,2600B等
支持軟件:ATE2.0參數(shù)測試軟件