應用方向：PD/APD芯片篩選測試，GaAs射頻芯片S參數(shù)測試，MEMS晶圓管芯篩選測試等。
APS-2000半自動測試探針臺針對8英寸晶圓片測試而設計的一體化在片測試解決方案，同時可提供射頻微波、高壓大電流測量能力。 探針臺載片臺平面采用鋁合金鍍金保證測試過程中的低接觸電阻、超薄晶圓片處理和功率耗散，同時提供低漏電噪聲的保護及屏蔽環(huán)境。為了保證高壓測試的人身安全，APS-2000探針臺采用了安全互鎖系統(tǒng)機構和測試系統(tǒng)級聯(lián)。
AutoMap探針臺控制軟件簡單直觀控制載片臺XYZ三向的步進移動，wafer圖形分布描述，芯片圖像對準，坐標定位等功能，同時配置經(jīng)典的四向迷你位置操作鍵盤。
ATE2.0晶圓參數(shù)自動化測試軟件可控制多種測試儀器，包括半導體參數(shù)分析儀、網(wǎng)絡分析儀、阻抗分析儀等，支持TPS200、APS-1500、FAPS-1500自動化測試探針臺，實現(xiàn)晶圓在片的自動化批量篩選測試。
主要功能：
WaferMap圖描述：采用工業(yè)相機，通過圖像算法實時掃描Wafer并對Die進行對準
Chuck控制：AutoMap軟件或經(jīng)典鍵盤多向操控Chuck移動
Wafer圖形模式：圓形、陣列、環(huán)形、探邊多種形式式，可自定義學習模式。
Die坐標查詢：實時顯示更新Die相對坐標
打點方式：噴墨，離線打點、異步打點
測試接口：TTL電平、RS232、GPIB、以太網(wǎng)
支持探針：直流鎢探針、RF探針、高壓探針，大電流探針
支持儀器：Keysight 源表、網(wǎng)絡分析儀、LCR表；Keithley 2400,6487,2600B等
支持軟件：ATE2.0參數(shù)測試軟件
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