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介紹

測量顯微鏡是同時具有高精度線性測量和觀察功能的多功能儀器。這使得測量顯微鏡可對諸多如半導(dǎo)體、顯示屏、微電子器件、精密汽車零件、注塑件、以及醫(yī)療器具等產(chǎn)品進(jìn)行詳細(xì)檢測。測量顯微鏡還可輕易測量不能進(jìn)行接觸測量的易碎工件和需要用接觸探針測量的具有極小細(xì)節(jié)的工件。測量顯微鏡所必備的重要要素是光學(xué)性能、總體精密、操作性的平衡。以前不可見或幾乎不可見的物體現(xiàn)在不僅可以觀察而且能被測量，用戶對測量顯微鏡性能的期待將持續(xù)增長，而這些增長是與操作簡便、高測量能力以及對于此環(huán)境的適應(yīng)性相關(guān)聯(lián)的。

特點(diǎn)

● 更高的精度

● 數(shù)字成像和影響處理測量術(shù)

● 更大的載物臺提高了工件的處理能力

● 非接觸式Z軸高度測量

● 與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)協(xié)同工作

輔助對焦系統(tǒng)

新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對焦功能，可提供更銳利的圖案?？稍赯軸測量期間提供精確對焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測量誤差被降到最低。

● 分光棱鏡輔助對焦（FA）結(jié)構(gòu)

● 分光棱鏡輔助對焦（FA）實例


用于高反光的工件	用于低反光的工件

型號		LH-8	LH-12
鏡筒		1×光學(xué)管徑，雙目目鏡，帶有CCD1/2靶面接口
觀察圖像		正像
觀測方法	輔助對焦系統(tǒng)	頭部或照明器 FA系統(tǒng)
	微分干涉對比	可選微分觀測對比
目鏡		10X(視場直徑：25mm)，可選十字分劃板，可選：視場直徑：22mm
物鏡		95mm 2x，5x，10x，20x，50x（100x選配）或60mm 5x，10x，20x，50x，100x
照明裝置	反射照明	內(nèi)置孔徑光闌，LED光源，無極亮度調(diào)節(jié)，可選鹵素照明
	透射照明	白色LED照明，無極亮度調(diào)節(jié)
工作臺	XY測量范圍	200*150mm	300*200mm
	快速釋放裝置	X軸和Y軸（標(biāo)配）
	調(diào)零開關(guān)	X軸和Y軸（標(biāo)配）
數(shù)顯計器	顯示軸	2軸或3軸
	分辯率	0.001mm/0.0005mm/0.001mm（可轉(zhuǎn)換）

LH工具顯微鏡系列

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