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測量顯微鏡是同時具有高精度線性測量和觀察功能的多功能儀器。這使得測量顯微鏡可對諸多如半導體、顯示屏、微電子器件、精密汽車零件、注塑件、以及醫(yī)療器具等產(chǎn)品進行詳細檢測。測量顯微鏡還可輕易測量不能進行接觸測量的易碎工件和需要用接觸探針測量的具有極小細節(jié)的工件。 測量顯微鏡所必備的重要要素是光學性能、總體精密、操作性的平衡。以前不可見或幾乎不可見的物體現(xiàn)在不僅可以觀察而且能被測量，用戶對測量顯微鏡性能的期待將持續(xù)增長，而這些增長是與操作簡便、高測量能力以及對于此環(huán)境的適應性相關聯(lián)的。
特點
● 更高的精度
● 數(shù)字成像和影響處理測量術
● 更大的載物臺提高了工件的處理能力
● 非接觸式Z軸高度測量
● 與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)協(xié)同工作
輔助對焦系統(tǒng)
新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對焦功能，可提供更銳利的圖案?？稍赯軸測量期間提供精確對焦。由于不同物鏡焦深差異導致的測量誤差被降到最低。
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● 分光棱鏡輔助對焦（FA）結構
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● 分光棱鏡輔助對焦（FA）實例
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| 用于高反光的工件 | 用于低反光的工件 |
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