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DX測(cè)量顯微鏡系列是觀察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。
特點(diǎn)
● 視場(chǎng)寬闊，可得清晰無(wú)閃爍正像
● 高精度測(cè)量，同時(shí)具有大測(cè)量范圍和高精度，適用于各種測(cè)量
● 可選用高NA物鏡，滿(mǎn)足長(zhǎng)工作距離的測(cè)量要求
● 照明裝置（反射/透射）可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無(wú)衍射觀察測(cè)量
● 各類(lèi)尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái)
● 快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
● 高位目鏡觀察
● 便捷CCD圖像成像，可選配多種CCD數(shù)碼相機(jī)
觀察成像
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偏光觀察 觀察過(guò)濾后只有一個(gè)方向振動(dòng)的光。適于觀察具有特殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。 |
微分干涉對(duì)比觀察 在檢測(cè)金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時(shí)很有效。 |
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暗視場(chǎng)觀察 擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過(guò)高對(duì)比度能觀察到在亮視場(chǎng)看不到的劃痕和粉末。 |
亮視場(chǎng)觀察 最普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。 |
新功能增強(qiáng)Z軸測(cè)量精度
● 輔助對(duì)焦（FA）
新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對(duì)焦（FA）提供更銳利的圖案，可在Z軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降到最低。
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| 對(duì)焦 | 前端對(duì)焦 | 后端對(duì)焦 |
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