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微納米力學(xué)綜合測(cè)試系統(tǒng)

發(fā)表于:2017-02-15  作者:863test  關(guān)注度:824

微納米力學(xué)綜合測(cè)試系統(tǒng)(Micro-Nanomechanical Integrative Test System)

a. 納米劃痕儀(Nano-scratch)
    加載力:10uN~1N
    加載力分辨率:150nN
    摩擦力范圍:6μN ~1N
b. 納米壓痕儀(Nano-indentation)
    加載力:0~300mN
    加載力分辨率:40nN
    最大壓入深度:20μm
c. 原子力顯微鏡(AFM)。
    掃描范圍:20×20×2μm
    分辨率:X、Y、Z<1nm
d. 大載荷劃痕儀
 

測(cè)試范圍與服務(wù)項(xiàng)目:

微硬度、彈性模量、摩擦系數(shù)、磨損率、結(jié)合強(qiáng)度、臨界載荷、斷裂剛度、蠕變、粘變力(結(jié)合力)、存儲(chǔ)模量、損失模量等測(cè)試、生物組織、涂層、薄膜、半導(dǎo)體材料的刻蝕結(jié)構(gòu)及納米、微米結(jié)構(gòu)的三維形貌分析表征

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