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聯(lián)系方式：18951907529
用于沉積介質(zhì)膜（SiO2和SiNx），適用于最大直徑200毫米圓形基片和不規(guī)則形狀的基片，被廣泛應(yīng)用于POWER DEVICE，LED，LD，有機(jī)EL開發(fā)、 太陽能電池開發(fā)，MEMS等產(chǎn)品生產(chǎn)中，片內(nèi)片間均勻性及重復(fù)性優(yōu)于±5%，8inch向下兼容（含碎片）。
設(shè)備型號(hào) ULVAC CC-200Cz
鍍膜均勻性1%以內(nèi)：
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