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服務(wù)熱線
4001027270
設(shè)備名稱：快速退火爐 / 臺(tái)灣技鼎
用途：應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、器件、新材料等快速熱處理
技術(shù)指標(biāo)：
1. 樣品尺寸：6英寸及以下
2. 退火溫度： 100-1250℃可調(diào)，控溫精度1℃
3. 溫度均勻性：1000℃下，6英寸晶圓≤±1%
4. 反應(yīng)氣氛；真空、N2、O2、空氣
商家資料
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