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蒸發(fā)代加工

發(fā)表于：2019-10-24  作者：gdisit  關(guān)注度：350

 

設(shè)備名稱：金屬電子束蒸發(fā)臺 /美國德儀
 
用途：蒸發(fā)Ti，Al，Ni，Cr，Pt，Au，Ag、Mo等金屬

技術(shù)指標(biāo)：
1. 樣品尺寸：5*2英寸、1*4英寸、1*6英寸
2. 極限真空： 2×10-8 torr，蒸發(fā)均勻性：<±3%
3. 一爐可以依次蒸鍍8鐘不同金屬
4. 可以蒸鍍高熔點(diǎn)金屬Pt、W等
5. 帶有預(yù)腔室，保證腔體高真空，形成高質(zhì)量薄膜
6. 帶有Ar等離子清洗功能，保證薄膜和基底高粘附性

案例：
1nm超薄金屬蒸發(fā)

                    1nm超薄金屬蒸發(fā)


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