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4001027270
設(shè)備名稱：ITO電子束蒸發(fā)臺(tái) / 臺(tái)灣聚昌
用途：蒸發(fā)透明導(dǎo)電薄膜ITO
技術(shù)指標(biāo)：
1. 樣品尺寸：102*2英寸、21*4英寸、12*6英寸
2. 基底刻蝕溫度： 室溫-350℃可調(diào)，控溫精度1℃
3. 極限真空：2×10-7 torr，蒸發(fā)均勻性：<±5%
案例：
不同氧流暢ITO形貌
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