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蘇州甫一電子科技有限公司是由來自海內(nèi)外的團隊人員及專業(yè)的高科技投資公司共同出資創(chuàng)建的一家以設(shè)計、開發(fā)和制造MEMS器件為主的高科技技術(shù)企業(yè)，公司專注于微納傳感器、微流控器件、微納制造等領(lǐng)域的設(shè)計、研發(fā)、生產(chǎn)和服務(wù)。目前產(chǎn)品主要有MEMS微流控芯片和微噴嘴，主要應(yīng)用在水質(zhì)監(jiān)測、生物醫(yī)學、高端異型纖維紡絲等領(lǐng)域。
蘇州甫一電子科技有限公司具有半導體及MEMS微器件的深度訂制、設(shè)計仿真、加工和生產(chǎn)能力，尤其在非硅基的UV-LIGA技術(shù)方面。包括但不限于以下服務(wù)：
1、MEMS器件設(shè)計仿真：結(jié)構(gòu)仿真、熱學仿真、薄膜應(yīng)力仿真等
2、專業(yè)的4/6/8inch MEMS委托加工線
3、UV-LIGA技術(shù)：采用UV-LIGA技術(shù)進行各種常規(guī)、異型金屬結(jié)構(gòu)的加工，如Ni、Cu、Zn、Fe-Ni、Ni-W等
4、三維非硅MEMS加工新技術(shù)，系統(tǒng)完整的非硅MEMS支撐技術(shù)
5、特殊工藝如蒸發(fā)Pt/Au、電鍍Au、雙面光刻、RIE、DRIE、 ICP、IBE、Bonding等；
6、MEMS后道的減薄、激光劃片、TSV三維封裝等。
7、光刻版設(shè)計和制版服務(wù)：全系列石英、蘇打玻璃鉻掩膜版，制版最小線寬 0.7um，精度 0.07um，面積從3 inch^2到1.4 m^2，滿足從高精尖科學研究到大規(guī)模企業(yè)量產(chǎn)的全方位需求
8、提供光刻膠、化學試劑、硅片、刻蝕設(shè)備、SEM、AFM等相關(guān)電鏡設(shè)備和耗材等。商家資料
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