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蘇州佳斯軒電子科技有限公司提供微納代工單步或多步整合工藝代工。
擁有接觸式光刻（SUSS）、stepper光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)、熱氧化爐、離子注入機(jī)（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低應(yīng)力氮化硅等)、PECVD（SiO2、SiN、BPSG、非晶硅等）、磁控濺射(特殊的有AlN、ZnO、PZT等)、電子束蒸發(fā)、深硅刻蝕（刻蝕深寬比10:1）、RIE（刻蝕SiO2、SiN）、晶圓鍵合（陽極鍵合、金屬鍵合、膠鍵合等）、金屬電鍍、 CMP芯片切割（砂輪劃片、激光表切、激光隱形切割）、快速退火、SEM、XRD、EDS、SIMS等等
長期提供高品質(zhì)、低價格dummy/test/prime級別單晶硅片（2/4/6/8/12寸）、SOI片（4/6/8寸）、BF33（4/6寸）、石英玻璃片、熔融石英片以及各種鍍Al、Au、Pt、Mo、銥等金屬和SiO2、SiN薄膜單晶硅襯底基片，硅外延片等等材料。
一直合作單位：
清華大學(xué)、浙江大學(xué)、西安交通大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、華中科技大學(xué)、成都電子科技大學(xué)、東南大學(xué)、南開大學(xué)、天津理工大學(xué)、西南交通大學(xué)、南京航空航天大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、太原理工大學(xué)、湘潭大學(xué)、湖南大學(xué)、武漢理工大學(xué)、武漢大學(xué)、山東大學(xué)、中科院力學(xué)研究所、西安光機(jī)所、西南核物理研究院、中科院微電子所等等
希望各個高校、研究所和公司多多支持我公司發(fā)展，多多合作，謝謝!
QQ:646605217
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