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高科技行業(yè)如半導(dǎo)體、光伏、LED和FPD等使用的工藝氣體多為易燃、易爆氣體 (如H2、SiH4) 或有毒氣體 (如COF2、HBr、F2),這些氣體在接觸人或野生生物前必須經(jīng)過處理。同時(shí),這些有些使用的氣體會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染,例如,CF4能在大氣中存在約50,000年,溫室效應(yīng)比CO2強(qiáng)6,500倍。許多廢氣的氣流中含有大量顆粒或粉塵,極可能干擾設(shè)施排放氣體,導(dǎo)致制造工廠的系統(tǒng)或業(yè)務(wù)意外地不能進(jìn)行工作或停工。
處理工業(yè)廢氣的原因
20世紀(jì)90年代早期,半導(dǎo)體行業(yè)缺乏適當(dāng)且全面的廢氣處理技術(shù)解決方案。從過去到今日,該行業(yè)一直使用有害工藝氣體,其產(chǎn)生的廢氣必需經(jīng)過有效的處理。常見處理工藝有:
常見氣體/主要成分為CF4、SF6、C4F8、SiH4、NH3、TEOS、NF3、H2、SiH2Cl2、GeH4、IPA 和HF。
太陽(yáng)能被視為“綠色科技”,但多年來,絕大部分以硅為原料制作太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)過程都采用了半導(dǎo)體行業(yè)司空見慣的處理步驟。與半導(dǎo)體行業(yè)一樣,太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)過程可能使用了會(huì)污染環(huán)境的有害物質(zhì),根據(jù)相關(guān)法律規(guī)定,需進(jìn)行有效的處理。常見處理工藝有:
常見氣體/主要成分為SiH4、NH3、DEZ與松油醇
在為手機(jī)小型液晶屏以及電視市場(chǎng)的大型液晶屏提供LED背光之后,下一個(gè)潛在增長(zhǎng)市場(chǎng)將是照明行業(yè)。LED大眾市場(chǎng)的規(guī)模意味著排放量增加,極需專門的廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理凈化。常見處理工藝是MOCVD。 常見氣體/主要成分為H2與NH3。
DAS為部分行業(yè)提供靜電除塵處理系統(tǒng),以減少有機(jī)物排放 (揮發(fā)性有機(jī)復(fù)合物),并處理粉塵。如:
我們的技術(shù)為半導(dǎo)體行業(yè)、光伏及LED行業(yè)提供了燃燒/水洗、水洗和靜電吸附的POU產(chǎn)品,它們能對(duì)有毒有害、易燃和危害環(huán)境的氣體做出有效的減排。
«我們是一家專注于尾氣處理設(shè)備和污水處理解決方案的世界領(lǐng)先的環(huán)保供應(yīng)商,我們將以德國(guó)的品質(zhì)給您提供滿意的方案及產(chǎn)品,使您不用再為保護(hù)我們可愛的環(huán)境而煩惱。»
吳彬,DAS中國(guó)分公司總經(jīng)理
戴思環(huán)保設(shè)備貿(mào)易 (上海) 有限公司 (DAS Environmental Equipment China Ltd.) 位于上海,是總部設(shè)于德國(guó)德累斯頓的DAS Environmental Expert公司的中國(guó)分公司。自1991年成立起,專為特定客戶生產(chǎn)使用端廢氣處理設(shè)施。
DAS公司于2001年進(jìn)駐中國(guó)市場(chǎng),如今已為中國(guó)的半導(dǎo)體和光伏行業(yè)安裝了數(shù)百套產(chǎn)品。2011年,DAS中國(guó)實(shí)施了全球最大的薄膜太陽(yáng)能項(xiàng)目,2012年成功地與天威完成了聯(lián)合成本節(jié)省項(xiàng)目。
多家知名客戶尤為稱道DAS集團(tuán)的合作發(fā)展理念。DAS在微晶片和太陽(yáng)能電池模塊制造工藝方面的廣泛技術(shù)知識(shí)令他們受益匪淺。DAS利用這些專業(yè)經(jīng)驗(yàn),為客戶量身打造各種高效環(huán)保的解決方案。
DAS Environmental Expert公司業(yè)務(wù)遍布全球,目前擁有246名員工。公司另設(shè)有一個(gè)業(yè)務(wù)部門,專門為工業(yè)和城市廢水開發(fā)處理和系統(tǒng)解決方案。
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