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半導(dǎo)體潔凈車間有專業(yè)的建造廠家，如，擁有凈化工程B類二級資質(zhì)的深圳市中建南方凈化設(shè)備有限公司。以下半導(dǎo)體潔凈車間的相關(guān)的技術(shù)和使用管理辦法：
1.半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進，因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。
2.為保持恒溫與恒濕，大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機加壓多久，空調(diào)就得開多久。
3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，潔凈車間室內(nèi)空間設(shè)計或機臺擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃細菌等在潔凈車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至最低程度。
4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。
5.所有人或事物進出潔凈車間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。
6.半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子（如鉀、鈉離子）污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道，影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑，在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人！
7.半導(dǎo)體潔凈車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣 (98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
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