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X61S50D-T型研磨機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：本機(jī)是我公司新一代單面研磨機(jī)，主要用于φ100-φ150藍(lán)寶石、電子材料半導(dǎo)體硅片、鍺片、計(jì)算機(jī)磁盤(pán)基片以及光學(xué)材料等金屬、非金屬硬脆材料的單面高精度研磨加工。
主要特點(diǎn)：
2.1主研盤(pán)和上研磨頭均設(shè)有強(qiáng)制冷卻（可選配冷水機(jī)），采用紅外測(cè)溫、閉環(huán)控溫；四個(gè)研磨頭采用變頻調(diào)速主動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，研磨頭的壓力用電氣比例閥調(diào)控實(shí)現(xiàn)了多段壓力控制，可大區(qū)段自動(dòng)加壓，單個(gè)上盤(pán)最高可加壓450g/cm2；
2.2本機(jī)配備高精度數(shù)控車刀修盤(pán)裝置，方便了銅盤(pán)面形修整，適應(yīng)了藍(lán)寶石加工的工藝要求；
2.3在控制上采用了工控機(jī)控制，靈敏性好，反饋迅速、控制精確，能滿足不同用戶的工藝需求，操作方便，顯示豐富；
2.4采用磁力攪拌泵攪拌、真空噴砂供液，配有沖洗開(kāi)關(guān)水槍；
2.5電氣控制器件采用國(guó)外品牌（OMRON 、Raytek、和泉及施耐德等），可靠穩(wěn)定；
2.6主傳動(dòng)采用了椿本的環(huán)面包絡(luò)蝸輪蝸桿減速箱，四個(gè)研磨頭采用了臺(tái)灣利明減速電機(jī)驅(qū)動(dòng)，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)壽命長(zhǎng)；
2.7主支座支撐處裝有四個(gè)減震器，很好的保證了各種工況下上下盤(pán)間的平行度，保證了加工質(zhì)量。
2.8承片盤(pán)的定位采用中心導(dǎo)輪和外導(dǎo)輪配合的自動(dòng)定位，操作方便。
主要技術(shù)參數(shù)：
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研磨盤(pán)尺寸 |
φ1260mm×φ244mm×42.5mm(樹(shù)脂銅盤(pán)） |
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拋頭數(shù)量 |
4個(gè) |
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主電機(jī) |
18.5kW |
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拋頭電機(jī) |
1.5kw×4 |
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下研磨盤(pán)轉(zhuǎn)速 |
0-70rpm（調(diào)頻調(diào)速） |
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研磨頭轉(zhuǎn)速 |
0-70rpm（調(diào)頻調(diào)速） |
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加工能力 |
36片/φ100mm，24片/φ150mm |
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最小加工厚度 |
0.2mm |
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外型尺寸 |
1850mm (W)×2850mm (D)×2925 mm (H) |
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重量 |
約7000kg |
產(chǎn)品選配表：
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拋頭電機(jī) |
● |
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上下盤(pán)水冷 |
● |
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下盤(pán)電機(jī) |
● |
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全裸結(jié)構(gòu) |
● |
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水冷機(jī) |
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○ |
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機(jī)械手 |
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○ |
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陶瓷盤(pán) |
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○ |
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●標(biāo)配 ○可選裝
使用環(huán)境：
1） 設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦，遠(yuǎn)離振動(dòng)源，無(wú)灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。
2） 溫度10℃-25℃
3） 相對(duì)濕度≦95
4） 電源電壓AC 380V ，50Hz
5） 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa（必須為干燥的清潔空氣）
6）冷卻水水壓：2kgf/cm2 以下
水量：15L/min 溫度：7～12℃
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