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FAM(自由磨料加工)是SpeedFam原始單面搭接過程,使自由磨料磨具在ultrahard板效率高。這些簡單的系統(tǒng)非常容易操作和維護。不僅適用于研磨,我們提供這個陣容配置軟,“硬”拋光。從裸硅片金屬和藍寶石,這些單邊系統(tǒng)提供研磨過程廣泛的生產要求。
SpeedFam 50-SPAW和59-SPAW機器自動單邊機械化學拋光系統(tǒng)進行裸硅片處理。我們運輸陶瓷安裝板自動(與晶片加載和卸載)。這些系統(tǒng)配備了各種先進的技術,如較低的熱膨脹拋光板和冷卻降溫、獨立控制驅動和精確的壓力控制每個進程。
我們48英寸滾筒機器通用單面研磨系統(tǒng)適用于各種各樣的大規(guī)模生產的流程。配置包括拋光和硬拋光的規(guī)格和所有可以合并抗腐蝕材料和各種特定于應用程序的選項。
SpeedFam線組成的32寸通用單邊機器為眾多應用程序提供了各種不同的規(guī)范。本設備適用于各種各樣的大規(guī)模生產，拋光和硬拋光的應用。都可以用耐腐蝕材料為各種特定應用程序和可用各種各樣的選項來滿足您的需求。
我們的12 b是一個桌面單面研磨工具板直徑12英寸。從一個小部件的實驗項目可以廣泛用于搭接的大規(guī)模生產，拋光和硬拋光的應用。
我們的sp-1700是振蕩型單面拋光機拋光板和1700mm直徑。這是一個用在液晶玻璃基板的拋光生產工具（通常730mmx920mm平方）。SP系列拋光機配置其他大型工件的尺寸以及。
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