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音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)三自由度晶圓調(diào)節(jié)平臺(tái)，通過(guò)三軸音圈電機(jī)并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)Z軸直線運(yùn)動(dòng)和θx/θy軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。系統(tǒng)有效發(fā)揮了音圈電機(jī)高帶寬、高精度和高動(dòng)態(tài)的直驅(qū)作動(dòng)優(yōu)勢(shì)，并配合NPC031音圈電機(jī)專用運(yùn)動(dòng)控制器內(nèi)嵌的運(yùn)動(dòng)算法和軟件，可以實(shí)現(xiàn)單軸直線運(yùn)動(dòng)、兩軸線性插補(bǔ)、兩軸圓弧插補(bǔ)、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜軌跡運(yùn)動(dòng)，并滿足晶圓臺(tái)在不同應(yīng)用場(chǎng)景的定位、對(duì)準(zhǔn)、掃描、軌跡跟蹤的各類高精度、高動(dòng)態(tài)和高可靠性運(yùn)動(dòng)需求。該系統(tǒng)可用于半導(dǎo)體設(shè)備、光學(xué)制造、激光加工等諸多產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。

性能參數(shù)：

· Z向行程：3mm

· Rx/Ry行程：±12.5mrad

· Z向重復(fù)定位精度：14.9nm

· Rx重復(fù)定位精度：12.2μrad

· Ry重復(fù)定位精度：15.1μrad

· 負(fù)載:1kg

· 整定時(shí)間:≤100ms

平臺(tái)特點(diǎn)：

· 機(jī)械設(shè)計(jì)緊湊：在緊湊空間中實(shí)現(xiàn)三自由度 (Z, Rx, Ry) 運(yùn)動(dòng)

· 動(dòng)態(tài)性能優(yōu)秀：快速定位與對(duì)準(zhǔn)、高速掃描和軌跡跟蹤、寬頻域擾動(dòng)抑制與防抖等

· 可內(nèi)置真空氣路以及真空閥供真空卡盤使用

· 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可作為光學(xué)式檢測(cè)或?qū)y(cè)試等運(yùn)動(dòng)模組使用

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體：晶圓檢測(cè)與量測(cè)、硅片對(duì)準(zhǔn)與定位、半導(dǎo)體封裝、芯片與器件測(cè)試等

主動(dòng)光學(xué)：超分辨成像、電子顯微成像、大視場(chǎng)成像、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)與操作等

精密制造：激光加工、增材制造、光學(xué)加工、MEMS制造與檢測(cè)等

音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺(tái)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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