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專業(yè)化的晶圓激光刻號打碼專用設(shè)備,使用于3-6寸晶圓的軟打標(biāo)或硬打標(biāo)作業(yè)。
疊片式上料,傳送式送片,花籃式收料,自動完成疊片到裝籃過程;
支持OCR字符和點陣字符,全自動生產(chǎn)加工;
工業(yè)級激光器,穩(wěn)定可靠,免維護;
光束質(zhì)量好,標(biāo)識精細(xì),可讀性好;
操作界面友好,PLC全程控制,使用操作方便。
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)規(guī)格 項目 單位 數(shù)字
加工尺寸 晶圓尺寸 inch 5英寸
激光器功率 激光器出口處 W 20瓦
激光器波長 紅外光纖激光器 nm 1064納米
定位精度 mm 0.05毫米
重復(fù)精度 mm 0.02毫米
振鏡 最大掃描速度 mm/s 7000毫米/秒
振鏡類型 數(shù)字/模擬 高速數(shù)字式振鏡
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