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    VACREE低溫真空泵

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體輔助設(shè)備-真空泵-冷泵

    產(chǎn)品品牌

    VACREE

    庫       存:

    999

    產(chǎn)       地:

    中國-安徽省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

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    品牌:VACREE

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體輔助設(shè)備-真空泵-冷泵

    低溫真空泵(又稱冷泵)是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的超高真空獲得設(shè)備。具備潔凈無油、抽速大、極限真空度高等優(yōu)點。
    安徽萬瑞冷電科技有限公司2014年-2018年承擔(dān)科技部《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》(02專項)課題-超高真空冷泵研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化,應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造PVD、離子注入等關(guān)鍵工藝過程。

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