| 面板TEG Prober |
| 型號(hào) |
TEG prober-G6 |
TEG prober-G8.5 |
| 外形 |
2850mm(寬)x2500mm(長(zhǎng))x2500 mm(高) |
4000mm(寬)x3500mm(長(zhǎng))x2500 mm(高) |
| 重量 |
約9700KG |
約14200KG |
| 電力需求 |
380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max |
| 可測(cè)試液晶屏尺寸 |
長(zhǎng)寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
長(zhǎng)寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
| 平臺(tái)功能 |
Gantry結(jié)構(gòu) |
龍門式，可以選擇雙龍門 |
| X-Y-Z軸運(yùn)動(dòng)行程 |
1850*1500 *58mm(X-Y-Z) |
2500 *2200*58mm(X-Y-Z) |
| X-Y運(yùn)動(dòng)速度 |
0~600mm/s可調(diào) |
探針規(guī)格 |
針卡 |
兩套，可同時(shí)測(cè)試兩個(gè)patten |
| X-Y精度(最小移動(dòng)量) |
0.1um |
Pitch范圍：定制 |
| X-Y重復(fù)定位精度 |
±1um |
探針材質(zhì)：鎢or鈹銅等 |
| X-Y 軸驅(qū)動(dòng) |
直線電機(jī)+光柵尺 |
工作模式：可以單獨(dú)測(cè)試，或者兩個(gè)針卡一起測(cè)試。兩個(gè)針卡間的相互距離可調(diào)。 |
| Z 運(yùn)動(dòng)速度 |
0~10mm/s可調(diào) |
| Z精度 |
0.25um |
探針和TEG對(duì)位方式 |
坐標(biāo)定位 |
| Z重復(fù)定位精度 |
±1um |
測(cè)試過(guò)程中的二次視覺(jué)檢測(cè) |
| Z軸驅(qū)動(dòng) |
伺服電機(jī)+光柵尺 |
探針和TEG的接觸方式 |
自動(dòng)接觸 |
| Z軸保護(hù) |
電機(jī)自鎖+機(jī)械限位保護(hù) |
探針自動(dòng)保護(hù)功能:edge sensor 和機(jī)械限位，可以根據(jù)panel厚度設(shè)定限位高度，點(diǎn)針的OD值可設(shè)。 |
| 樣品臺(tái)平整度 |
±50um平整度 |
| 樣品臺(tái)涂層 |
防靜電涂層 |
| 樣品臺(tái)高低溫 |
Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) |
| 光學(xué)特性 |
光路系統(tǒng)倍率： |
5X ,10X ,20X，50X Objects
|
探針軸旋轉(zhuǎn)行程 |
±90° |
| 放大倍率范圍50X~ 500X |
探針旋轉(zhuǎn)精度 |
0.01° |
| 聚焦 |
自動(dòng)聚焦 |
旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度 |
0.03° |
| CCD |
200/500萬(wàn)像素工業(yè)相機(jī) |
探針清潔 |
自動(dòng)清針 |
| 光源 |
面背光、點(diǎn)背光、上光源 |
清潔后自動(dòng)測(cè)針 |
| 光源亮度獨(dú)立可調(diào)，面背光可選擇分區(qū)控制 |
探針臺(tái)漏電精度（安裝針卡的情況） |
100fA 以內(nèi)（測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：給針卡任意針腳加壓—5V~+5V，在不吹N2的情況下，空載測(cè)試漏電流<100fA）吹氮?dú)?/span>N2輔助干燥(Recipe 可以設(shè)置是否開啟N2且N2測(cè)試報(bào)告體現(xiàn)開N2與不開N2區(qū)別) |
| 激光特性（選件） |
激光系統(tǒng) |
激光切割系統(tǒng)（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) |
| 0-100% |
| 激光波長(zhǎng) |
1064nm，532nm，355nm |
| 光斑尺度 |
1.0um @100X object |
測(cè)試能力 |
測(cè)試系統(tǒng) |
兩套 |
| 2.0um @50X object |
半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng):2*HRSMU+4*MPSMU+CV 測(cè)試單元+高精度矩陣開關(guān)等 |
| 工作模式 |
One Shot/Burst/Continue |
| 形狀 |
可調(diào)節(jié)的矩形 |
TFT測(cè)試項(xiàng)目 |
Ion |
| 控制 |
工作模式 |
自動(dòng)測(cè)試，CIM通訊，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動(dòng)導(dǎo)入和輸出 |
Ioff |
| Vth |
| 上下片 |
機(jī)械手或者流水線 |
Mobility |
| CIM系統(tǒng) |
有 |
Swing |
| 減震 |
被動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠確保點(diǎn)針測(cè)試的穩(wěn)定性 |
Resistance測(cè)試項(xiàng)目 |
Rs |
| 工業(yè)PC |
23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊 |
Rc |
| (其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨(dú)立顯卡 |
最大輸送電壓 |
±200V |
| 通訊接口 |
RS232/485/TCP/IPGPIB等 |
最大輸送電流 |
±1A |
| 安全 |
整機(jī)帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作 |
電流測(cè)試分辨率 |
1fA（無(wú)需前置放大器） |
| 緊急開關(guān)EMO |
電壓測(cè)試分辨率 |
0.5uV |
| 限位sensor，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和探針系統(tǒng)限位互鎖 |
CV 測(cè)試頻率范圍 |
1kHz~5MHz |
| Interlock報(bào)警，自動(dòng)關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選) |
接地單元電流宿能力 |
4.2A GNDU |
| 應(yīng)用方向 |
OLED/TFT-LCD Panel TEG 電學(xué)測(cè)試 |
| |
| 特點(diǎn)： |
| 業(yè)界最快的測(cè)試速度 |
超高的測(cè)試精度 |
| 穩(wěn)定的測(cè)試結(jié)果 |
mult-probe card設(shè)計(jì) |
| 0.1um精度的直線電機(jī)平臺(tái) |
自動(dòng)清針，自動(dòng)測(cè)針 |
| 極小的針痕損傷 |
全自動(dòng)測(cè)試 |
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