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    包郵 關注:353

    RKD 化學開封機 Elite Etch

    應用于半導體行業(yè):

    半導體輔助設備-其他

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體輔助設備-其他

     RKD 化學開封機 Elite Etch
    詳細介紹




    機器尺寸(mm) ;   190 x 320 x 305 

    溫度范圍

    1) 發(fā)煙硫酸: 25C - 250C

    2) 發(fā)煙硝酸: 25C - 90C

    3) 混酸: 25C - 100C (Elite Etch)

    4) 混酸(專利):10C -100C (Elite Etch Cu)

     

    抽酸流量   :  1-8 ml / minute 

     


    蝕刻頭組件:      
    固定式碳化硅(保固3年)

     


    N2 氣體支持     
    2.0 lpm (安全蓋子+泵)氣壓為60-70psi

     


    安全

    1) 自動顯示錯誤信息

    2) 設置EMO緊急停止按扭

    3) 漏酸偵測在設備內(nèi)部和瓶子BOX里

    4) 采用光纖感應蓋子的密合度(不是耗材)

    5) 所有管路一體化設計,雙層保護套,并且酸瓶盒配有蓋子

     


    廢酸瓶  :  
    1個 

     

    固定樣品方式: 子蓋下以后,自動從上到下,直接固定樣品

     

    密封圈  :  圓型(不是耗材)

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