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TSI公司9110型便攜式粒子計(jì)數(shù)器可精確測(cè)量到0.100微米的粒子。它所使用的氦氖激光技術(shù)可以極大程度提高信噪比。
9110型完全遵從ISO-14644-1標(biāo)準(zhǔn),是驗(yàn)證一級(jí)和二級(jí)潔凈房間的最佳選擇。這款儀器可應(yīng)用在潔凈房間的監(jiān)測(cè),過程監(jiān)控和過濾膜測(cè)試。
9110型可以生成ISO14644-1通過或非符合的報(bào)告。它不僅可以作為獨(dú)立的粒子計(jì)數(shù)器
使用,也可以與諸如FMSS等在線粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)兼容。
9110型激光粒子計(jì)數(shù)器嚴(yán)格遵從ISO 21501-4協(xié)議。它通過標(biāo)準(zhǔn)的粒子測(cè)量方法來進(jìn)行校驗(yàn),即用來自美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及技術(shù)研究院的PSL小球通過TSI一流的篩分器和凝聚核粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)。
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