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當前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 涂膠設(shè)備 » 自動噴涂機 »SAWATEC瑞士進口 噴膠機 噴涂機 ispray 300
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    SAWATEC瑞士進口 噴膠機 噴涂機 ispray 300

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-涂膠設(shè)備-自動噴涂機

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    產(chǎn)       地:

    全國

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     針對具備高度結(jié)構(gòu)化晶圓形貌、深度 MEMS 結(jié)構(gòu)或不平整表面特征的基
    板,SAWATEC 公司的 iSPRAY-300 能夠確保盡可能均勻的噴涂效果。它是一款精密
    的噴膠機,適用于手動噴涂或噴霧顯影工藝,主要被應(yīng)用于研究與開發(fā)實驗室,尤
    其是 MEMS 加工的試產(chǎn)和小量產(chǎn)場合。
    經(jīng)過工藝優(yōu)化的噴嘴能夠結(jié)合低粘度的、特別適用于噴涂作業(yè)的光刻膠(例如 Shipley
    1813、AZ 4999、AZ 9260、SU8 等)生成最精細的小液滴。在一個封閉式工藝室中噴
    嘴經(jīng)由“弓”字型行進路徑進行噴涂,由此可以確保整個基板表面上均勻的噴涂效
    果以及高度可再現(xiàn)性。該設(shè)備可用于圓形或正方形基板,最多可同時噴涂 4 個晶基
    板。
    iSPRAY-300 噴膠機適用于最大直徑為 300 mm 的晶圓或尺寸為 12x12 英寸的基板。

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