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    X61 D9B-W型雙面研磨機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-研磨機

    產(chǎn)品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號:

    9B雙面研磨機

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號:9B雙面研磨機

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-研磨機

     X61 D9B-W研磨技術(shù)規(guī)格書

     

    、主要用途及特點

    1.1本機主要用于藍寶石、光學玻璃、硅片、砷化鉀片、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨,也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨加工。

    1.2 整機采用龍門結(jié)構(gòu),支撐剛度及設(shè)備穩(wěn)定性更高。

    1.3該研磨機加壓系統(tǒng)分成輕壓研磨、 中壓研磨和修正(輕壓)多段壓力,能適應(yīng)較廣泛的各類用戶研磨各種零件。

    1.4本設(shè)備上研磨盤快升、快降、緩升、緩降集中于同一個手柄上,操作方便。

    1.5采用三相交流異步電機,變頻調(diào)速,起動及停車平穩(wěn),無沖擊,可以防止工件破損,也能根據(jù)加工零件材料不同,調(diào)節(jié)到理想的研磨速度。

    1.6內(nèi)齒圈可以自動升降,并設(shè)置了內(nèi)齒圈下降極限位置定位裝置,便于取放工件及修正輪,太陽輪的高低位置通過對其內(nèi)墊圈的增減進行調(diào)整。

    1.7設(shè)備采用時間控制,到預(yù)測目標值屆時自動停車。因此,一人可同時操作多臺機器。

    1.8本機電氣通過PLC控制,四行文本顯示器顯示壓力過程,操作方便。

    、設(shè)備基本參數(shù)

    l 上下研盤尺寸:φ640mm×φ235mm×30mm(鑄鐵)

    l 游星輪參數(shù):  英制:Z=108   DP12   α=20°

    公制:Z=114   M=2   α=20°

    l 游星輪數(shù)量:   5個

    l 最小研磨厚度: 0.20mm

    l 最大研磨厚度: 30mm

    l 加工能力:     40片/φ50mm,20片/φ75mm,10片/φ100mm

    l 最大研磨直徑:φ150mm

    l 下盤轉(zhuǎn)速:     0-60rpm

    l 主電機:       4kW   AC380V    1460rpm

    l 三相電泵:     1/4HP  AC380V    70L/min

    l 外型尺寸:     1000mm×1460mm×2620mm

    l 重量:         約1800kg

    三、基本配置

    l 氣動元件:                              SMC

    l 減速器:                         杭州恒星

    l 主要軸承:                            NSK、哈瓦洛軸等

    l 可編程控制器〔PLC〕                        臺達

    l 四行文本顯示器                            臺達

    l 變頻器                              施耐德

    l 旋鈕開關(guān)、電器開關(guān)                         和泉、213等

    l 主電機                                     國產(chǎn)

    四、設(shè)備的安裝及使用條件

    4.1、 設(shè)備箱體上裝有四個起吊柱,專門用于設(shè)備搬運時吊裝,設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。

        設(shè)備安裝的條件為:

          a、溫度10℃-25℃

          b、相對濕度≤95%

          c、電源電壓AC380±38V(三相五線制)

          d、壓縮空氣源 0.4-0.6MPa

    4.2、設(shè)備可直接放在地板上,調(diào)整六個地腳螺栓可校正設(shè)備的水平,校正時,用水平儀在下研盤上檢測(即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正),其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。

    、設(shè)備總體技術(shù)要求

    l 下盤平面度小于0.02mm;

    l 下盤端面跳動小于0.06mm;

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