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    包郵 關(guān)注:654

    多晶鑄錠爐NXRJ-MC500 B/P 寧夏日晶

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-長(zhǎng)晶設(shè)備-多晶爐

    產(chǎn)品品牌

    寧夏日晶

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    客服電話:4001027270

    品牌:寧夏日晶

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-長(zhǎng)晶設(shè)備-多晶爐

    多晶鑄錠爐NXRJ-MC500 B/P

     

    多晶鑄錠爐NXRJ-MC500 B/P
    主要功能 NXRJ-MC500 B/P 參數(shù)
    產(chǎn)品規(guī)格 500Kg裝料 840mmX840mmX304mm
    機(jī)身重量 主爐體 約5500Kg
    操作箱 約50Kg
    控制箱 約400Kg
    電源箱 約1800Kg
    外形尺寸   4800mmX3500mmX5100mm
    腔體 內(nèi)徑 1870mm
    材質(zhì) 內(nèi):SUS316L 厚16mm
    外:SUS304L 厚8mm
    高度 上腔體:1580mm
    下腔體:780mm
    爐蓋厚:68mm
    3組電極中心距 900mm
    觀察窗 測(cè)溫及觀察:1處
    冷卻水流路分割 螺旋形構(gòu)造
    冷卻水排水口 爐體各部件最下部
    保溫體      升降機(jī)構(gòu) 升降驅(qū)動(dòng)方式 自動(dòng)/半自動(dòng)
    升降行程 ≤380mm
    限位開關(guān) 2處(上限、下限)
    下爐體        升降機(jī)構(gòu) 升降驅(qū)動(dòng)方式 半自動(dòng)
    升降行程 ≤950mm
    限位開關(guān) 2處(上限、下限)
    真空度 結(jié)晶的拉制環(huán)境 60KPa(工藝要求)
    空的冷爐極限真空度 3Pa以下
    允許泄露量 5Pa/Hr以下
    真空管路 真空管道的接口尺寸 ISO 100mm
    控制閥 自動(dòng)/手動(dòng)
    爐壓控制精度 +0.15KPa
    Ar氣管路 最大流量 200L/min(用MFC控制Ar)
    輸入壓力 2.7kg/cm2以上
    電氣控制系統(tǒng) 加熱器電源 輸入電壓:AC三相380V(50/60Hz)
    加熱器功率:200KW
    輸出控制方式:功率控制/溫度控制
    功率控制精度:額定直流輸出±2%內(nèi)
    冷卻水流量:不小于20L/min
    溫度測(cè)定 B型熱電偶 重復(fù)精度:±0.5ºC
    測(cè)定范圍:0~2000ºC
    紅外測(cè)溫儀 重復(fù)精度:0.1%
    測(cè)定范圍:600~2000ºC
    控制方式 控制器構(gòu)成 工業(yè)級(jí)平板電腦(帶觸摸屏)
    三菱PLC/基恩士PLC
    工藝控制方式 裝料:手動(dòng)
    抽真空:手動(dòng)/自動(dòng)
    加熱:手動(dòng)自動(dòng)
    溶解、穩(wěn)定:手動(dòng)/自動(dòng)
    凝固、結(jié)晶:手動(dòng)/自動(dòng)
    退火:手動(dòng)/自動(dòng)
    冷卻:手動(dòng)/自動(dòng)
    取出:手動(dòng)
    冷卻水系統(tǒng) 冷卻水源輸出輸入口 Φ50mm(2英寸)
    流量 300L/min~350L/min
    水壓 3Kg/cm2~3.5kg/cm2
    進(jìn)出水壓力差 2Kg/cm2以上
    進(jìn)水溫度 20~30ºC

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