ST8360全自動四瓶特殊氣體輸送柜
全自動四瓶GC
ST8360全自動四瓶特殊氣體輸送柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應(yīng)而設(shè)計的供應(yīng)系統(tǒng),基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷(當設(shè)定報警信號被觸發(fā)時)。ST8320全自動氣柜通過采用PLC控制,觸控屏為人機界面,通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置,實現(xiàn)設(shè)備安全有效的運行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求,同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。
適合氣體: 易燃性,腐蝕性,毒性氣體,諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
適用行業(yè): Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED等工廠。