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GJTJ系列機械式二維工件臺 |
| 中國科學院光電技術研究所長期從事精密工件臺研發(fā)工作，先后完成國內首臺1.5微米g線步進投影光刻機、國內首臺亞微米g線步進投影光刻機、國內首臺i線步進投影光刻機、步進投影數字光刻機、“激光共聚焦生物芯片掃描儀”、EUV曝光系統(tǒng)、接近接觸光刻機、光子篩激光直寫光刻機、臺式投影光刻機、3D生物打印機等設備的研制。這些高精度裝備的工件臺均是自主研發(fā)。已銷售各種型號高精度工件臺產品近百臺。 GJTJ系列機械式二維工件臺有GJTJ-2A和GJTJ-2B兩種型號，其主要技術參數如下： |
| 產品型號 | GJTJ-2A機械式二維工件臺 | GJTJ-2B機械式二維工件臺 |
| 產品圖片 |  |
 |
| 重復定位精度 | ±300nm（±3σ） | ±40nm（±3σ） |
| 直線性 | 3″ | 3″ |
| 正交性 | 3″ | 3″ |
| XY向行程 | 100mm×100mm，200mm×200mm | 10mm×10mm； |
| 定制 | 可定制 | 可定制，定制范圍0mm～50mm |
| 結構組成 | 串聯(lián)結構 | 并聯(lián)結構 |
| 驅動方式 | 電機帶動精密滾珠絲杠進行驅動 | 電機帶動精密滾珠絲杠進行驅動 |
| 導向方式 | 精密直線導軌進行導向 | 精密直線導軌進行導向 |
| 檢測與反饋 | 精密光柵進行位置檢測及反饋 | 精密光柵進行位置檢測及反饋 |
| 技術特點 | 電機與滾珠絲杠通過高品質彈性聯(lián)軸器連接，傳動同步，消偏性能好，大大降低了偏心擾動和工作噪聲；精密滾珠絲杠采用預壓處理，消除了軸向背隙并可降低因軸向力造成的彈性位移；對導軌安裝面進行研磨處理并結合精密裝調，可實現(xiàn)工件臺極高的運動直線性（0.5″）和正交性（1″）；采用球頭帶動結構可消除運動噪聲及結構平差；關鍵零部件均采用國外知名公司產品。步進電機采用日本三洋，絲杠、導軌采用日本THK，精密光柵采用美國Micro-E，以保證工件臺的可靠性及穩(wěn)定性。 | |
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