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GJTJ系列機械式二維工件臺

中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所長期從事精密工件臺研發(fā)工作，先后完成國內(nèi)首臺1.5微米g線步進投影光刻機、國內(nèi)首臺亞微米g線步進投影光刻機、國內(nèi)首臺i線步進投影光刻機、步進投影數(shù)字光刻機、“激光共聚焦生物芯片掃描儀”、EUV曝光系統(tǒng)、接近接觸光刻機、光子篩激光直寫光刻機、臺式投影光刻機、3D生物打印機等設(shè)備的研制。這些高精度裝備的工件臺均是自主研發(fā)。已銷售各種型號高精度工件臺產(chǎn)品近百臺。

GJTJ系列機械式二維工件臺有GJTJ-2A和GJTJ-2B兩種型號，其主要技術(shù)參數(shù)如下：

產(chǎn)品型號	GJTJ-2A機械式二維工件臺	GJTJ-2B機械式二維工件臺
產(chǎn)品圖片
重復(fù)定位精度	±300nm（±3σ）	±40nm（±3σ）
直線性	3″	3″
正交性	3″	3″
XY向行程	100mm×100mm，200mm×200mm	10mm×10mm；
定制	可定制	可定制，定制范圍0mm～50mm
結(jié)構(gòu)組成	串聯(lián)結(jié)構(gòu)	并聯(lián)結(jié)構(gòu)
驅(qū)動方式	電機帶動精密滾珠絲杠進行驅(qū)動	電機帶動精密滾珠絲杠進行驅(qū)動
導(dǎo)向方式	精密直線導(dǎo)軌進行導(dǎo)向	精密直線導(dǎo)軌進行導(dǎo)向
檢測與反饋	精密光柵進行位置檢測及反饋	精密光柵進行位置檢測及反饋
技術(shù)特點	電機與滾珠絲杠通過高品質(zhì)彈性聯(lián)軸器連接，傳動同步，消偏性能好，大大降低了偏心擾動和工作噪聲；精密滾珠絲杠采用預(yù)壓處理，消除了軸向背隙并可降低因軸向力造成的彈性位移；對導(dǎo)軌安裝面進行研磨處理并結(jié)合精密裝調(diào)，可實現(xiàn)工件臺極高的運動直線性（0.5″）和正交性（1″）；采用球頭帶動結(jié)構(gòu)可消除運動噪聲及結(jié)構(gòu)平差；關(guān)鍵零部件均采用國外知名公司產(chǎn)品。步進電機采用日本三洋，絲杠、導(dǎo)軌采用日本THK，精密光柵采用美國Micro-E，以保證工件臺的可靠性及穩(wěn)定性。

GJTJ系列機械式二維工件臺成都晶普科技有限公司

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