勻膠機(jī)（Spin Coater）KW-4A

KW—4A型勻膠機(jī)適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝，主要應(yīng)用于溶膠-凝膠（sol-gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

★ 本機(jī)具有以下特點(diǎn)：

 1．電機(jī)勵(lì)磁和電樞分開(kāi)供電。勵(lì)磁用12伏直流穩(wěn)壓電源供電，電樞用運(yùn)放控制IRF830調(diào)速，它比可控硅調(diào)速優(yōu)越，故其轉(zhuǎn)速在500—8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

2．本勻膠機(jī)有兩檔轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后，先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)，然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩檔速度及運(yùn)行時(shí)間分別可調(diào)。

3．本勻膠機(jī)采用光電檢測(cè)，數(shù)字電路測(cè)速，對(duì)電機(jī)的轉(zhuǎn)速檢測(cè)快速準(zhǔn)確。電機(jī)穩(wěn)速方面采用了光電隔離的精密負(fù)反饋電路，使整機(jī)在高達(dá)8000RPM以上轉(zhuǎn)速時(shí)仍十分穩(wěn)定，有力的保證了勻膠質(zhì)量。

4．“吸片”采用電子開(kāi)關(guān)控制電磁閥完成氣路通斷，這樣適合流水線工藝，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作，提高效率。

5．勻膠機(jī)定時(shí)采用可調(diào)定時(shí)電路控制，面板上調(diào)節(jié)Timer旋鈕即可改變勻膠時(shí)間。

6．在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，因而勻膠機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低。

7．電磁閥與電機(jī)運(yùn)行有連鎖功能，電磁閥未動(dòng)作不能啟動(dòng)電機(jī)運(yùn)行，本次勻膠電機(jī)未停不能進(jìn)行下次勻膠，若運(yùn)行中誤按“CONTROL”鍵也不能停止吸氣，即不會(huì)產(chǎn)生跑片。

由于采用了以上一系列措施，故本機(jī)具有很高的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性和快速啟動(dòng)性，可以保證涂覆表面均勻，并可通過(guò)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。

技術(shù)指標(biāo)：

SpeedⅠ調(diào)速范圍 500—2500轉(zhuǎn)/分
TimerⅠ勻膠時(shí)間 3—18秒
SpeedⅡ轉(zhuǎn)速范圍 800—8000轉(zhuǎn)/分
TimerⅡ勻膠時(shí)間 3—60秒
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1%
電源電壓（二種） 220v/ 50Hz或110v /50Hz
電機(jī)功率 40W
被鍍物質(zhì)尺寸 Φ8—Φ150mm
真空泵抽氣速率 ≥60升/分
儀器尺寸：207×235×260 mm
包裝尺寸：300×250×280 mm
毛重：8 Kg

名稱：核鑫電子科技（上海）有限公司

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