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二次配管工程:從主系統(tǒng)預(yù)留閥(Take off Valve)接至工藝機(jī)臺(tái)(Tools)的工藝配管工程。
包含大宗氣體(Bulk Gas)、特氣(Specailily Gas)、排風(fēng)(Exhaust)、化學(xué)品(Chemical)、配電(Power)、工藝真空(PV)、純水(UPW)、冷卻水(PCW)、市政水(CW)、廢液排放(Drain)、泵排(Pump line)
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