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概述

Edwards RV 泵曾經(jīng)成為一次泵迷信使用方面的行業(yè)規(guī)范。 RV 泵獨具特征，可以以高極限真空提供高吞吐量或低吞吐量。這一特點以及樂音極低的劣勢使之成為普遍適用于各種使用（包括 GCMS 和其他小任務(wù)臺式使用）的理想產(chǎn)品。
一切泵產(chǎn)品均經(jīng)內(nèi)部測試機構(gòu)檢驗，契合 UL 和 CSA 規(guī)范。 Edwards 擁有遍及全球的網(wǎng)絡(luò)，在世界各地對產(chǎn)品使用和效勞提供支持。
隨產(chǎn)品提供： 1 公升 Ultragrade 19 油、進氣口過濾器和 O 型圈。必需為 PFPE RV 泵獨自推銷 Fomblin®。

特性與劣勢

●48 dB(A)，最大水平增加了侵擾性頻率。
●雙形式。適用于高吞吐量和高真空使用。
●易于運用的氣囊。
●快動式進氣口閥為零碎提供維護。
●高轉(zhuǎn)矩，雙壓/雙頻電機，電啟動繼電器。
●高效的高壓光滑。
●帶印刷墊片的油封，軸封效率高。
●夾入式察看窗。
●高技術(shù)聚合物葉片，直徑大，油路易于清潔。

●具有分歧的固有質(zhì)量，鑄棒構(gòu)造。

排量
50Hz	14.2 m³h^-1/8.4 ft³min^-1
60Hz	17 m³h^-1/10 ft³min^-1
速度 (Pneurop 6602)
50Hz	12 m³h^-1/7.1 ft³min^-1
60Hz	14.2 m³h^-1/8.4 ft³min^-1
極限壓力	2 x 10^-3 mbar/1.5 x 10^-3 Torr
極限壓力 GB I	3 x 10^-2 mbar/2.3 x 10^-2 Torr
極限壓力 GB II	6 x 10^-2 mbar/4.6 x 10^-2Torr
極限壓力（帶 Fomblin®）	2 x 10^-2 mbar/1.5 x 10^-2 Torr
水蒸汽的最大進氣口壓力	32 mbar/24 Torr
最大水蒸汽抽速 – GB I	60 gh^-1
最大水蒸汽抽速 – GB II	220 gh^-1
允許的最大出口壓力	0.2 bar 表壓/3 psig
允許的最大進氣口和氣鎮(zhèn)壓力	0.5 bar 表壓/7 psig
電機功率 50/60 Hz	450 / 550W
電源連接器（1 相）	IEC EN60320 C13
標稱旋轉(zhuǎn)速度 50/60 Hz	1500 / 1800rpm
重量（不含油）	29 kg/63.8 lb
最小/最大油容量	0.65/1 升
推薦用油	Ultragrade 19
進氣口法蘭	NW25
排氣口法蘭	NW25
噪音級別	50 Hz 時 48 dB(A)
工作溫度范圍	12 – 40 °C
水冷卻要求	2 lmin^-1
最大	18 升/19 qt
最小	6.5 升/6.9 qt
推薦用油	Ultragrade 70
噪音級別	75 dB(A)
水冷卻要求	1.3 lmin^-1

愛德華RV12真空泵

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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