擴散爐,氧化擴散爐產品應用:應用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領域,適用2~8英寸工藝尺寸
產品名稱: 氧化/擴散爐系列 |
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應用領域:半導體 |
關 鍵 字:擴散爐,氧化擴散爐 |
產品咨詢電話:4008-110044 |
產品詳細描述: |
產品應用:應用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領域,適用2~8英寸工藝尺寸
擴散爐產品特點:
◆工業(yè)計算機控制系統(tǒng),對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門等動作進行自動控制
◆采用懸臂送片器:操作方便、無摩擦污染等
◆關鍵部件均采用進口,確保設備的高可靠性
◆工藝管路采用進口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染(管路均采用EP級電拋光管路),流量控制采用進口質量流量計(MFC)
◆控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好;
擴散爐主要技術指標
◆工作溫度:200~1300℃
◆加熱體控制點:3/5點
◆爐體恒溫區(qū):450mm/600mm/800mm/1100mm
◆恒溫區(qū)精度:>800℃/±0.5℃ ,<800℃/±1℃
◆單點溫度穩(wěn)定性:600~1300℃/ ±0.5℃/24h
◆最大可控升溫速度:15℃/min
◆最大降溫速度:5℃/min(900~1300℃)
◆供電:三相四線,380VAC/50HZ
◆局部凈化等級:100級。
◆氧化系統(tǒng):干氧、濕氧(氫氧內外點火)
歡迎索取相應詳盡的技術資料及共研相應項目的解決方案。
青島精誠華旗微電子設備有限公司成立于1993年(青島華旗科技有限公司,2009年),為專業(yè)的IC集成電路及器件工藝、半導體材料(晶體生長等)、半導體特氣及廢氣處理、精密真空熱處理爐(磁性材料等,成套)設備及解決方案的高科技研發(fā)制造企業(yè)。致力于為IC集成電路、功率器件、MEMS器件、LED、太陽能電池、新材料等制造廠家及科研院所提供先進的工藝設備(含成套設備及解決方案)。
出色地完成了部分國家863項目(如GaN厚膜晶體生長的HVPE系統(tǒng)、MOCVD系統(tǒng)等)等。
GB/T19001-2008(ISO9001:2008)質量管理體系認證。
主要產品:
氧化擴散爐系列、LPCVD 系統(tǒng)、PECVD系統(tǒng)、HVPE系統(tǒng)、MOCVD系統(tǒng)、RTP快速熱處理、氣瓶柜、半導體尾氣(廢)處理SCRUBBER,真空熱處理爐、鏈式爐系列、擴散爐體系列等。
