服務(wù)熱線
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1)先進(jìn)的熱場設(shè)計;溫場穩(wěn)定、可靠,使用壽命長,有效降低能耗及耗材消耗
2)采用IGBT高頻電源,精度高、效率高,提高晶體品質(zhì)和成晶率
3)內(nèi)置隔離系統(tǒng),集成式爐內(nèi)退火及快速更換籽晶功能,提高晶體品質(zhì)及設(shè)備利用率
4)防粘鍋設(shè)計,提高成晶率真及坩堝壽命
5)冷卻水入口溫度±0.5℃,提高晶體品質(zhì)和成晶率
5)先進(jìn)真空管理及氣體分配系統(tǒng)
6)安裝裝置及互鎖,提高安全性
7)高精度閉環(huán)控制,減少了操作中的人為影響
8)友好的人機(jī)界面,生長過程的各項(xiàng)工藝參數(shù)顯示直觀,操作便捷
產(chǎn)品優(yōu)勢:
1)集成一體化工藝:爐內(nèi)退火,減少開裂及碎晶
2)全球最低每毫米晶體制造成本:低電能及耗材消耗量,同比下降40%
3)首批設(shè)備調(diào)試時間:縮短至3個月
4)革新性熱場設(shè)計:經(jīng)高速計算機(jī)模擬驗(yàn)證,提高成晶率
5)熱場材料選擇:降低能耗及耗材消耗,提高熱場穩(wěn)定性及設(shè)備利用率
6)設(shè)備利用率及成晶率各提升約15%-20%
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