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揚(yáng)州市神州科技有限公司成立于2003年，現(xiàn)有專業(yè)技術(shù)人員40人, 員工50人, 專業(yè)從事射頻等離子體電源的維修、維護(hù)及銷售，主要服務(wù)內(nèi)容包括：為半導(dǎo)體工廠，液晶面板工廠等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等國際品牌的射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導(dǎo)體設(shè)備維修、銷售、客戶方案定制與老式機(jī)型替代，并提供現(xiàn)場支持服務(wù)。
公司主要客戶：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。
二、產(chǎn)品介紹
AE APEX 3013 / 13.56 MHz / 3000 W射頻電源
| 物理特性 | |
| 尺寸 | 132.59mm（高）x 215.14mm（寬）x 425.96mm（深） |
| 5.22"（高）x 8.47"（寬）x 16.77"（深） | |
| 頻率 | 13.56 MHz |
| 射頻輸出功率與調(diào)節(jié) | 50Ω非無功負(fù)載上的正向輸出功率為3 kW |
| 2:1電壓駐波比負(fù)載上的正向功率為2000 W | |
| 3:1電壓駐波比負(fù)載上的正向功率為1500 W | |
| 諧波 | 當(dāng)在50Ω非無功負(fù)載中運(yùn)行時(shí)，全部為最大額定輸出為-40ddBc的正向/負(fù)載諧波 |
| 輸出精度 | |
| 正向功率調(diào)節(jié) | 當(dāng)用50Ω非無功阻抗測量時(shí)，為設(shè)定值的±%或滿額定輸出功率的±0.1%，以二者中較大者為準(zhǔn) |
| 負(fù)載功率調(diào)節(jié) | 在3:1電壓駐波比無功負(fù)載下時(shí)，為負(fù)載功率的±3% |
| 環(huán)境因素 | |
| 操作環(huán)境溫度 | 最低5℃(41℉),最高40℃(104℉) |
| 水冷卻劑溫度 | 最高35℃(95℉) |
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三、品質(zhì)保障
我們所銷售的電源、匹配器及RPS等如無特殊說明，均提供6個(gè)月的免費(fèi)保修服務(wù)。
我們?yōu)殇N售產(chǎn)品提供終身維修服務(wù)，并可提供EXCHANGE服務(wù)，保證客戶的生產(chǎn)正常進(jìn)行。
四、運(yùn)輸
我們?yōu)樗谐鰪S的機(jī)器提供最結(jié)實(shí)的包裝，保證運(yùn)輸過程中機(jī)器的安全。
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