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熱門產(chǎn)品

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一、公司介紹

工程工作現(xiàn)場(chǎng)全景

揚(yáng)州市神州科技有限公司成立于2003年，現(xiàn)有專業(yè)技術(shù)人員40人, 員工50人, 專業(yè)從事射頻等離子體電源的維修、維護(hù)及銷售，主要服務(wù)內(nèi)容包括：為半導(dǎo)體工廠，液晶面板工廠等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等國(guó)際品牌的射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導(dǎo)體設(shè)備維修、銷售、客戶方案定制與老式機(jī)型替代，并提供現(xiàn)場(chǎng)支持服務(wù)。
公司主要客戶：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。

二、產(chǎn)品介紹

AE PDX 1250 / 325-450 KHz / 1250 W 射頻電源

Physical
Size	89mm(H)x483mm(W)x483mm(D) 3.5″(H)x19″(W)x20″(D) standard rack mount
Weight	< 14kg(31Ib)
Customer Interface	User port and/or active front-panel controls
User Port Connector	25-pin,sub-miniature D,male
Serial Port Connector	None
50W Output Connector and Load Match Output Connector	N or C
Electrical
RF Output Power	18 to 1250W
Frequency	325 to 450kHz
Load Match Transformer	10 to 350Ω,7 taps
Internal Reactive Match	Inductor
Maximum Reflected Power	250W
Harmonics	At full rated power,all harmonics are>50dB below the fundanmental output frequency
Input Voltage	180 to 253 VAC 50/60 Hz,single φ
Input current	15ARMSmax
Maximum Output Voltage	300 V
Maximun Output Current	6A
Regulatory Accuracy	1% of set point or 2 W,whichever is greater
Environmental
Operating Temperature	35℃(95℉)max
Cooling	Air(gas),35℃(95℉)max