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一、公司介紹

工程工作現(xiàn)場全景

揚州市神州科技有限公司成立于2003年，現(xiàn)有專業(yè)技術(shù)人員40人, 員工50人, 專業(yè)從事射頻等離子體電源的維修、維護及銷售，主要服務(wù)內(nèi)容包括：為半導(dǎo)體工廠，液晶面板工廠等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等國際品牌的射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導(dǎo)體設(shè)備維修、銷售、客戶方案定制與老式機型替代，并提供現(xiàn)場支持服務(wù)。
公司主要客戶：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。

二、產(chǎn)品介紹

MKS ASTRONhf++ RPS / 30L

Operating Voltage Range	200/208 VAC ±10%
Operating Frequency	50/60 Hz
Current	70 Amps RMS (per phase)
Voltage	5% (THD)
Voltage Imbalance	10% (per phase)
Source Impedance Ground	10%
Leakage Current	25 mA
Cooling Water
Quality	Facility water
Filtration	50 Micron
Minimum Flow Rate	During Operation: 3.5 GPM
Minimum Flow Rate	During Idle: 0.5 GPM
Cooling Channel Pressure Drop	17 psi
Inlet Pressure	100 psig
Inlet Temperature	Maximum: 30°C
Inlet Temperature	Minimum: Ambient Dew Point or 15°C
Typical Cooling Load	<10 kW (NF₃)
Lower Limit Flow Set Point	3.5 GPM
Internal Cooling Wetted Materials	Copper, Stainless Steel
Ambient Conditions
Operating Temperature	40°C
Storage Conditions	-25 to +85°C
Process Gases
100% NF₃	Grade 4N

更多信息請與我們聯(lián)系！

三、品質(zhì)保障

我們所銷售的電源、匹配器及RPS等如無特殊說明，均提供6個月的免費保修服務(wù)。

我們?yōu)殇N售產(chǎn)品提供終身維修服務(wù)，并可提供EXCHANGE服務(wù)，保證客戶的生產(chǎn)正常進行。

四、運輸

包裝箱方式

我們?yōu)樗谐鰪S的機器提供最結(jié)實的包裝，保證運輸過程中機器的安全。

MKS ASTRONhf++ 30LRPS 遠程等離子體電源維修及銷售

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

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